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融合接合

融合接合是兩種基板直接接觸後形成的自然相互黏著。這種方法也叫做矽直接接合,在室溫下,它是兩個基板不管是否經濕式化學或電漿活化等處理後進行接合,基板表面有無介質層均可。

XBC300可以提供一個低成本的300mm平臺,平臺內包含電漿活化、濕式化學應用、對準和接合等部分。