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玻璃融塊接合

玻璃融塊接合是一種傳統的接合技術，廣泛應用於世界各地的MEMS產品製造。它的使用範圍包括三軸加速度計、陀螺儀和壓力感測器等，這些已用在包括汽車、遊戲和手機等技術中。SUSS MicroTec的ABC200接合機是一個標準的生產型玻璃融塊接合平臺，它的模組化設計已經在世界各地的MEMS工業生產中展現了可連續運作的要求。

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8" Si-Si Glass Frit Bond
 
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