旋轉式光阻塗佈機 / 噴霧式光阻塗佈機

以全方位塗怖／顯影解決方案滿足您的需求

SUSS MicroTec光阻塗佈機／噴霧式光阻塗佈機已是優質效能、易於使用、有彈性及專業塗佈的代名詞。SUSS MicroTec塗佈機是具備精簡、易於使用之光阻塗佈設備，可生產從經濟實惠的小產量實驗室設備，到最大300mm之高階生產系統的完整產品線，因此可在相同的製程反應容器內，形成從1µm 到 100µm以上的光阻層。

自動化旋轉式光阻塗佈機及噴霧式光阻塗佈機

高度自動化的模組化旋轉式光阻塗佈機及噴霧式光阻塗佈機，適用於最大300mm 的晶圓 - 3D整合、晶圓凸塊、晶圓級封裝、MEMS及化合物半導體。

Gamma (最大可達 200mm)
ACS200Plus (最大可達 200mm)
ACS300 Gen2 (最大可達 300mm)

手動旋轉式光阻塗佈機及噴霧式光阻塗佈機

Delta 系列為非常適合研發、大學及新創公司使用的設備－MEMS、晶圓級封裝、3D整合、化合物半導體。

Delta 80RC (最大可達 200mm)
Delta 12RC (最大可達 300mm)
LabSpin 6/8 (最大可達 200mm)

在SUSS MicroTec申請專利期間，AltaSpray可在對於斜度為0 至 90° 甚至更大的不同結構上，提供一致性噴霧進行塗佈。

Delta Altaspray (最大可達 200mm)

整合式微影模組系統

SUSS微影模組系統為整合塗佈、烘烤、曝光、顯影的解決方案，尤其適用於大量生產的化合物半導體、晶圓級封裝或MEMS應用的大量生產。

LithoPack300 (最大可達 300mm)
LithoFab200 (最大可達 200mm)