Delta AltaSpray

適用於高表面崎嶇的手動噴霧式光阻塗佈機

 

特性與優點

 

  • 適用於在嚴重的表面崎嶇差異上形成圖樣的促成科技
  • 能夠可靠地覆蓋上方邊緣，並避免光阻堆積在溝槽中
  • 專屬的噴灑設計，能得到最佳化的再現性與清潔度
  • 適用於大至200mm直徑與6吋x6吋見方的基板

 

SUSS所開發的新型AltaSpray塗佈技術，使用一種能夠在不同的3D微結構上沈積高解析度光阻膜的創新光阻沈積方法，其可以確保在不同的結構，如90°的角落、KOH蝕刻洞、V形溝槽或透鏡上維持一致性的等角塗佈。

Delta AltaSpray光阻塗佈機可提供所有一般的實驗室與試產需求。它是一台適用於從幾微米到高達600微米或更高表面崎嶇的3D微結構製造上的理想設備。

SUSS的AltaSpray光阻塗佈機也能夠運用在量產應用上。

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