AS8 and AS12 Coater

适用于崎岖表面的手动喷雾涂胶机

AS8/AS12涂胶机可以满足实验室和试产环境下常用工艺的需要,对于起伏台阶几微米到600微米以上的三维微结构加工,都是理想的工具。

SUSS AS8/AS12涂胶机也可用于生产环境。

可在崎岖表面进行图形加工

可靠的顶部和边缘覆盖,同时避免沟槽中光刻胶残留

专利的喷雾方式设计,实现理想的重复性和洁净度

最大可用于直径200毫米的圆片和面积6英寸×6英寸的方片

多达两路独立喷射系统,避免交叉污染

XP操作系统和人机交互软件

所有工艺参数均可在工艺处方中编程

SUSS MicroTec Developer AS8
Details: Coating

在喷涂法中,喷嘴将要涂抹的溶液喷在晶圆上。 经过优化后的晶圆上方喷嘴移动路径可以实现在衬底上均匀的涂层。 喷涂所用的液体通常粘度极低,以确保形成细小的液滴。

喷涂法即使在凹凸图形上也能形成均匀涂层,因此它是这种结构的首选方法。 喷涂法还能喷涂方形的衬底。

我们的客户可以从中得到以下好处

  • 即使在崎岖结构的表面上也能形成均匀表面涂层

选项:

全自动

半自动

Product Portfolio 2243kb
Publications
SUSS MicroTec Developer ACS200 Gen3

Optimizing Spray Coater Process Parameters

Optimizing Spray Coater Process Parameters

SUSS MicroTec Developer ACS300 Gen3

Optimizing Spray Coating Yield and Throughput

Optimizing Spray Coating Yield and Throughput

技术文件

服务