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AS8 and AS12 Coater
适用于崎岖表面的手动喷雾涂胶机
AS8/AS12涂胶机可以满足实验室和试产环境下常用工艺的需要，对于起伏台阶几微米到600微米以上的三维微结构加工，都是理想的工具。
SUSS AS8/AS12涂胶机也可用于生产环境。
可在崎岖表面进行图形加工
可靠的顶部和边缘覆盖，同时避免沟槽中光刻胶残留
专利的喷雾方式设计，实现理想的重复性和洁净度
最大可用于直径200毫米的圆片和面积6英寸×6英寸的方片
多达两路独立喷射系统，避免交叉污染
XP操作系统和人机交互软件
所有工艺参数均可在工艺处方中编程
Details: Coating
在喷涂法中，喷嘴将要涂抹的溶液喷在晶圆上。 经过优化后的晶圆上方喷嘴移动路径可以实现在衬底上均匀的涂层。 喷涂所用的液体通常粘度极低，以确保形成细小的液滴。
喷涂法即使在凹凸图形上也能形成均匀涂层，因此它是这种结构的首选方法。 喷涂法还能喷涂方形的衬底。
我们的客户可以从中得到以下好处
- 即使在崎岖结构的表面上也能形成均匀表面涂层
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/home/sussxcbq/production/suess/www/web/var/assets/brochures-datasheets/suss-microtec-product-portfolio.pdf Product Portfolio 2277kb
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