AS8 and AS12 Coater

适用于崎岖表面的手动喷雾涂胶机

AS8/AS12涂胶机可以满足实验室和试产环境下常用工艺的需要,对于起伏台阶几微米到600微米以上的三维微结构加工,都是理想的工具。

SUSS AS8/AS12涂胶机也可用于生产环境。

可在崎岖表面进行图形加工

可靠的顶部和边缘覆盖,同时避免沟槽中光刻胶残留

专利的喷雾方式设计,实现理想的重复性和洁净度

最大可用于直径200毫米的圆片和面积6英寸×6英寸的方片

多达两路独立喷射系统,避免交叉污染

XP操作系统和人机交互软件

所有工艺参数均可在工艺处方中编程

SUSS MicroTec Developer AS8
Details: Coating

在喷涂法中,喷嘴将要涂抹的溶液喷在晶圆上。 经过优化后的晶圆上方喷嘴移动路径可以实现在衬底上均匀的涂层。 喷涂所用的液体通常粘度极低,以确保形成细小的液滴。

喷涂法即使在凹凸图形上也能形成均匀涂层,因此它是这种结构的首选方法。 喷涂法还能喷涂方形的衬底。

我们的客户可以从中得到以下好处

  • 即使在崎岖结构的表面上也能形成均匀表面涂层

选项:

全自动

半自动

Product Portfolio 990kb

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