DSC500 Projection Scanner

Projection Scanner DSC500

SÜSS MicroTec公司的半自动投影光刻平台DSC500支持的衬底尺寸最大为450毫米x500毫米。

装备了一个全场掩模和一个宽带投影镜头的扫描器以一种连续的曝光步骤对晶圆和衬底进行曝光。在掩模布局设计的时候,已经集成了额外的功能,比如衬底边缘的曝光,这对于随后的工艺步骤如金属化来说,是一个很重要的参考标准和要求。

亮点

1:1宽带投影镜头(Wynn Dyson)

圆晶、衬底尺寸高达450毫米x500毫米

可变数值孔径从0.07至0.14

分辨率<3微米

对准精度1微米

手动装载或者卸载衬底

SUSS MicroTec Projection Scanner DSC500
Details

在投影曝光工艺中,也要将掩模与圆晶先对齐,但掩模上的图案是通过位于掩模和圆晶之间的光学镜头投影到圆晶上的。 通常情况下,每次投影只能使圆晶的一部分曝光。 通过分步骤的重复投影(分布重复),或者连续的工艺(扫描)之后,才能使整个圆晶都得到曝光。 投影镜头系统的型号和特征决定了分辨率和聚焦深度,从而决定了曝光的工作效率。

SUSS MicroTec 公司的投影扫描技术将全场曝光和传统的投影光刻技术的优点集于一身,为掩模对准器和传统投影步进机提供了一个新选择。 在投影扫描的过程中,将一个全场掩模在衬底上对准,然后通过一个扫描过程投影到衬底上。 对于步进机来说,扫描技术以更低的系统成本达到更高的生产能力,分辨率能达到3微米。  
投影扫描尤其在分辨率要求高的工艺、有凹凸图形或者光致抗蚀剂较厚的工艺中特别具有优势。 

我们的客户可以从中得到以下好处

  • 一个成本效益明显的投影解决方案,极佳的分辨率,能到3微米。
  • 厚胶工艺中也能得到垂直的胶层侧面

选项:

全自动

半自动

下载
DSC500 Datasheet 518kb
SUSS Product Portfolio 990kb

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服务