Neues Kompetenzzentrum für Nanoimprinting in Nordamerika

Neues Kompetenzzentrum für Nanoimprinting in Nordamerika

Garching, 18. August 2015 - SÜSS MicroTec, führender Anbieter von Anlagen- und Prozesslösungen für die Halbleiterindustrie und verwandte Märkte, und das Singh Center für Nanotechnologie der Universität von Pennsylvania (Penn) kündigen eine Zusammenarbeit im Bereich der Nanoimprinting-Technologien an. Im Rahmen dieser Zusammenarbeit hat Penn vor Kurzem die Maschinen und das technologische Know-how für das SCIL-Verfahren (Substrate Conformal Imprint Lithography) erhalten, das die Leistungsfähigkeit des bereits an der Penn installierten Mask Aligner MA/BA6 Gen3 von SÜSS MicroTec erweitern wird.

Bei der SCIL-Technologie handelt es sich um ein Nanoimprinting-Verfahren, das die Vorteile der weichen und starren Stempel vereint und so die Reproduzierung großflächiger Strukturen bei einer Auflösung von unter 50 nm ermöglicht. SCIL kommt in vielfältigen Bereichen zum Einsatz, von HB-LEDs und Photovoltaik über MEMS und NEMS bis hin zur Massenproduktion von optischen Gittern für die Gassensorik und die Telekommunikation.

Das Singh Center für Nanotechnologie plant den Einsatz der SCIL-Technologie in plasmonischen Bauteilen, Halbleiter-Nanodrähten, in flexibler nanokristalliner Elektronik sowie in biologisch abbaubaren Sensoren und MEMS-Batterien. Darüber hinaus leitet Lithography Manager Dr. Gerald Lopez die Arbeiten des Centers zur Qualifizierung neuer Nanoimprinting-Materialien sowie zur Entwicklung der entsprechenden Prozesstechnologie in enger Zusammenarbeit mit SÜSS MicroTec.

Als weiterer bedeutender Bestandteil dieser Zusammenarbeit erhalten die Kunden von SÜSS MicroTec direkten Zugang zu den Reinraumeinrichtungen und den Anlagen der Universität von Pennsylvania, die als Demo-Center für die nordamerikanischen Kunden dient. Durch das enorme Maß an Erfahrung und das hohe technologische Niveau der Penn können die Kunden den gesamten Prozessfluss einsehen, d. h. sowohl den Prägungsprozess selbst als auch die nachfolgenden Schritte bis hin zum fertigen Gerät.

"Wir freuen uns über die Zusammenarbeit mit SÜSS MicroTec in der Entwicklung von Anwendungen mit SCIL. Indem wir unsere Stärken in der Mikro- und Nanofabrikation vereinen, sind wir in der Lage, unseren Forschern einzigartige Nanoimprinting-Leistungen zu bieten", erklärten Professor Mark Allen, Scientific Director des Singh Centers für Nanotechnologie, und Alfred Fitler Moore, Professor of Electrical & Systems Engineering. "Diese industrielle Partnerschaft ist eine Bereicherung für uns, denn so können wir besser demonstrieren, inwiefern die Nanoimprinting-Technologie als Katalysator für die Forschung dienen kann und wie sich dies auf den Unternehmenssektor übertragen lässt."

"Wir sind über die Zusammenarbeit mit dem Singh Center für Nanotechnologie überaus erfreut. Die Arbeit des Centers wird erheblich zur Kommerzialisierung dieser Nanotechnik für großflächige Strukturen beitragen und damit die Anwendung in der Serienfertigung beschleunigen. Des Weiteren profitieren unsere Kunden nicht nur von der möglichen Nutzung der Einrichtungen der Penn und den Einblicken in den gesamten Prägungsprozess, sondern auch von dem Wissen der Universität, denn es steht ihnen ein erfahrener Partner zur Seite", so Ralph Zoberbier, General Manager Exposure & Laser Processing bei SÜSS MicroTec.

Über SÜSS MicroTec
SÜSS MicroTec ist einer der weltweit führenden Hersteller von Anlagen- und Prozesslösungen für die Mikrostrukturierung in der Halbleiterindustrie und verwandten Märkten. In enger Zusammenarbeit mit Forschungsinstituten und Industriepartnern treibt SÜSS MicroTec die Entwicklung von neuen Technologien wie 3D Integration und Nanoimprint Lithographie sowie Schlüsselprozesse für die MEMS und LED Produktion voran. Weltweit sind mehr als 8.000 installierte Systeme von SÜSS MicroTec im Einsatz, unterstützt von einer globalen Infrastruktur für Applikationen und Service. Hauptsitz der SÜSS Gruppe ist in Garching bei München. Für weitere Informationen besuchen Sie www.suss.com.

Über die Universität von Pennsylvania
Die Penn kann auf eine stolze Tradition strenger intellektueller Anforderungen und bahnbrechender Innovationen zurückblicken, die bis zur Zeit der Gründung durch Benjamin Franklin zurückreicht. Diese Tradition ist auch heute noch in der Kreativität, dem unternehmerischen Denken und dem Engagement unserer Fakultät, Studenten und Mitarbeiter deutlich spürbar. Mit Forschungspreisen in Höhe von insgesamt über 870 Mio. US-Dollar arbeiten an der Universität von Pennsylvania zahlreiche weltweit führende Forscher und Wissenschaftler. Der Campus der Penn umfasst 12 Schulen, über 165 multidisziplinäre Zentren und Institute, ein vollständig integriertes Gesundheitssystem sowie eine große Gemeinschaft an Wissenschaftlern und Gelehrten, die in der Welt etwas bewegen wollen. Nähere Informationen finden Sie unter http://www.nano.upenn.edu.