MJB4マスクアライナー
小さな基板とピースのための最先端研究ソリューション
SUSS MicroTec MJB4は、使いやすくコンパクトなサイズで、研究室や少量生産に最適なシステムです。MJB4は、安価なフォトリソグラフィーソリューションとして、100mmまでの小型基板やピースの処理に特化した業界標準を確立しています。信頼性の高い高精度マスクアライメントとサブミクロンレンジの高解像度印刷能力を備え、他の追随を許さない性能を発揮します。
ハイライト
- 0.5µmまでの高解像度印刷
- SUSSのシングルフィールドまたはスプリットフィールド顕微鏡による高速で正確な位置合わせ
- 厚いレジスト用に最適化された高解像度光学系
- 異なる波長間の高速切り替えのためのユニバーサル光学系オプション
- UVナノインプリントリソグラフィ用の改造キットでアップグレード可能
MJB4は、LED製造などのMEMSおよび光電子アプリケーションに広く使用されています。壊れやすいIII-V材料のハイブリッドや高周波部品などの非標準基板用に特別に構成できます。さらに、MJB4はオプションで、UVナノインプリントリソグラフィ用のアップグレード キットで強化できます。
