化合物半导体/LED

化合物半导体是包含元素周期表中的两种或多种不同族元素的半导体材料,例如III-V族、 II-VI族和IV-VI族等,它被广泛用于光电子和通讯电子产品。大部分化合物半导体应用于无线通讯技术,例如在手机和基站中应用的射频集成电路(RFIC)。另一大块则是包含发光二极管(LED)技术的照明应用,它在便携电子和汽车照明等消费电子市场的应用日益增多。其他的应用范围还包括光通讯、光电器件和功率半导体。

这些应用所使用的基片材料包括砷化镓(GaAs)、磷化铟(InP)和碳化硅(SiC)等。所有这些材料的特性都给设备的研制带来了特殊的挑战,包括基片的尺寸、脆性、甚至是材料的多孔性。针对这些材料的特殊性,SUSS为相关的设备做了特别的处理,并且集成了一些经过特殊设计的模块,包括为LED制造工艺进行了优化的涂胶机,以及用于这些特殊衬底传输和预对准的终端执行器、曝光设备和光传感器。对于需要频繁变换衬底尺寸和类型的客户,SUSS的设备也可以实现工具模块的快速更换。

此外,SUSS的晶圆级测试系统也经过了特殊设计,可以实现射频微波测试设备(高频探针,电缆,VNA等)或光电激励测试工具的集成化,并且在从工程到量产测试的应用环境中都可以实现极高的测试准确性,满足客户对产能的要求。SUSS也实现了功率半导体和光电器件的测试解决方案。

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