掩模设备

掩模设备

每引进一项新技术节点都会给光掩模处理带来创新发展。为了充分了解客户的需求以及保障掩膜寿命, SUSS MicroTec 与客户、技术合作伙伴和 OEM 合作伙伴密切合作。 SUSS Microtec 建立的一系列掩膜加工设备全方位涵盖了各种光刻技术节点,包括下一代产品 < 10 nm HP。高品质解决方案包括剥离、清洗、曝光后烘烤和显影工艺。

自动系统


手动设备