MA200 Gen3: New Mask Aligner

The new tool generation incorporates an improved throughput as well as a better process administration and -definition.

DSC300 Gen2: New Projection Scanner

The new DSC300 Gen2 combines the advantages of full-field exposure and conventional projection lithography. Equipped... read more

ELP300 Gen2: New Excimer Laser Stepper

The newest generation ELP300 meets the technology driven requirements of the Advanced Packaging and 3D industry... read... read more

Lithography Plus

SUSS MicroTec offers a broad product range to meet the different price and performance points required by the... read more


ズース マイクロテックは、半導体産業とその関連市場で60年以上にわたるエンジニアリングの経験を誇る微細構造加工装置の世界有数のサプライヤーです。 当社では、半導体後処理工程のリソグラフィ、ウェーハ接合、およびフォトマスク処理のための幅広い製品とソリューション、およびそれを補完するマイクロオプティクスコンポーネントを幅広く取り扱っています。