マスクアライナ

手動マスクアライナ

厚膜/薄膜のコーティングレイヤー用途に最適洗練された露光光学系を持つSUSS MicroTec のマスクアライナは最高のアライメント精度を誇ります。研究・開発用の装置から、全自動大量生産用装置まで幅広い製品を揃えています。SUSS MicroTec のマスクアライナは、特に MEMS、アドバンスドパッケージ、3次元パッケージング、化合物半導体、パワーデバイス、太陽光発電、ナノテクノロジー、ウエハレベルオプティクスの分野のリソグラフィー用途に使用されています。

SUSS MicroTec のマスク・ボンドアライナプラットフォームは、マスクとウエハだけではなく、2枚のウエハを相互に確実にアライメントすることができます。様々な材料、最大300㎜までのサイズの基板、及びウエハを処理します。多数の追加機能により、様々なプロセス要件に対応できるだけではなく、柔軟な設定が可能です。


Technologies

  • 表面アライメント (TSA)
  • 裏面アライメント (BSA)
  • 赤外光 アライメント (IR)
  • プロキシミティ 露光