ASxシリーズ
SUSS の ASx シリーズは、250 nm ～ 90 nm のテクノロジーノードとフォトマスク加工に最新のベーク、現像、洗浄のメソッドを提供します。信頼性、安定性、そして高性能によって、本プラットフォームは、248 nm- 193 nm領域のリソグラフィープロセスでの欠陥のないフォトマスクの加工における要件に応えます。
ハイライト
- フォトマスクの耐用年数に効果をもたらす最高の洗浄結果を1回目で得ることができます。
- 小さな設置面 (1200 x 1200 mm）と低いCOO
- 高い信頼性と稼働率
- 250台以上のASxを販売
- 最先端のアドバンスド・ベイク - 14nmノード以降へのクオリファイ
