ASxシリーズ

SUSS MicroTec の ASx シリーズは、250 nm ～ 90 nm のテクノロジーノードとフォトマスク加工に最新のベーク、現像、洗浄のメソッドを提供します。信頼性、安定性、そして高性能によって、本プラットフォームは、248 nm- 193 nm領域のリソグラフィープロセスでの欠陥のないフォトマスクの加工における要件に応えます。