- 全自動搬送 プロダクション装置
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- マニュアル 手動機
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SUSS MicroTec の ASx シリーズは、250 nm ~ 90 nm のテクノロジーノードとフォトマスク加工に最新のベーク、現像、洗浄のメソッドを提供します。信頼性、安定性、そして高性能によって、本プラットフォームは、248 nm- 193 nm領域のリソグラフィープロセスでの欠陥のないフォトマスクの加工における要件に応えます。
フォトマスクの耐用年数に効果をもたらす最高の洗浄結果を1回目で得ることができます。
小さな設置面 (1200 x 1200 mm)と低いCOO
高い信頼性と稼働率
More than 250 ASx Sold
State of the Art Advanced Bake - Qualified down to 14 nm Node and beyond
The ASX ensures 100% soft defect removal, careful PSM cleaning and minimal residual ions during critical cleaning stages:
Multiple Technologies
Product Highlights
In Line with the Industry
Superior Performance
State-of-the-art fully automated mask bake and chill system, valuable to different applications like