SUSS MicroTec Group

ズースマイクロテックグループは、微細構造を使用した製品向けの製造装置およびプロセスソリューションの分野で60年を超えるエンジニアリングの歴史を誇る世界有数のサプライヤーです。

ドイツのミュンヘン近郊ガンヒングに本社を置くズースマイクロテックは、アジア、ヨーロッパ、および北米に製造施設と販売オフィスを展開する世界的な企業グループです。

当社が主力事業として据えているのは、リソグラフィソリューションとウェーハボンダです。当社のリソグラフィ事業部では、マスクアライナ、スピン方式およびスプレー方式のレジストコータに焦点を当てた非常に高精度のフォトリソグラフィツールを生産しています。ボンダ事業部は、量産パッケージング市場用の製品ウェーハボンダの開発を専門とする一方、手動装置も提供しています。

フォトマスク装置事業部では、フォトマスクとインプリントマスク処理用の装置ソリューションのハイエンドなスイート、およびそれらのスイートを補完するナノインプリントリソグラフィツールや光学レンズなどの特殊ソリューションをお届けしています。