コーター＆現像液ソリューション

ACS200 Gen3 TE

ACS200 Gen3 TEは、ACS200 Gen3プラットフォームをベースに、100mm～200mmウェーハ向けに設計された拡張モジュールシステムです。

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自動化された

ACS200 Gen3

100～200mm基板対応の自動塗布プラットフォームで、研究開発から大量生産まで幅広い用途に対応します。

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自動化された

ACS300 Gen2

200mmおよび300mmウェーハの高度なフォトリソグラフィープロセスに対応したオールインワンソリューションです。

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自動化された

ECD8

研究開発から量産まで、最大200mmまでのウェハーに対応する汎用性の高いコーター/現像液供給装置です。

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半自動式

AS8

直径200mmまたは300mmまでの基板、および辺長6インチまでの正方形基板の研究開発および少量生産に最適な装置です。

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半自動式

LabSpin Series

<?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?>研究開発およびラボ環境向けに設計された次世代の手動スピンコーターおよび現像液。

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手動で

MCS8

最小のフットプリントで500以上の機能を備えた、ラボ、スタートアップ、小規模生産のための革新的なラボクラスターです。

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手動で

RCD8

200mmまでのウェーハに対応し、研究開発や小規模生産に適した汎用性の高いコーター＆現像液です。

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半自動式

HP8

高速で均一な加熱と直感的なコントロールが可能な、200mm基板用の柔軟な研究開発および小規模コーティングソリューション。

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手動で