코터 및 현상기 솔루션

ACS200 Gen3 TE

ACS200 Gen3 플랫폼을 기반으로 하는 ACS200 Gen3 TE는 100mm~200mm 웨이퍼용으로 설계된 향상된 모듈식 시스템입니다.

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자동화된

ACS300 2세대

200 및 300mm 웨이퍼의 정교한 포토리소그래피 처리를 위한 프리미엄 올인원 솔루션입니다.

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자동화된

ECD8

와 양산 모두에 적합한 최대 200mm 웨이퍼용 다목적 코터 또는 현상액입니다.

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반자동

ACS200 Gen3

및 대량 생산을 위한 탁월한 다용도성을 갖춘 100~200mm 기판용 자동 코팅 플랫폼입니다.

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자동화된

AS8

최대 직경 200mm 또는 300mm의 기판과 최대 6인치 에지 길이의 정사각형 기판의 R&D 및 소량 제작에 이상적인 툴(Tool)입니다.

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반자동

LabSpin 시리즈

및 실험실 환경을 위해 설계된 차세대 수동 스핀 코터 및 현상액 개발기입니다.

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수동으로

MCS8

실험실, 스타트업 및 소규모 생산을 위한 혁신적인 랩클러스터로 최소한의 클린룸 설치 공간에 500개 이상의 기능을 갖추고 있습니다.

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수동으로

RCD8

및 소규모 생산을 위해 최대 200mm 웨이퍼용으로 설계된 매우 다재다능한 코터 및 현상액입니다.

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반자동

HP8

빠르고 균일한 가열과 직관적인 제어 기능을 갖춘 200mm 기판을 위한 유연한 R&D 및 소규모 코팅 솔루션입니다.

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수동으로