포토마스크 공정부터 고정밀 이미징, 코팅 및 본딩 시스템까지: 높은 수율과 일관된 처리량을 위해 효율적이고 안정적이며 비용 효율적인 공정을 보장하는 솔루션을 개발합니다.
균일한 코팅, 안정적인 공정, 유연한 조정으로 생산 워크플로우를 최적화하는 동시에 총소유비용을 절감할 수 있습니다.
코팅 및 현상액
잉크젯 프린팅
정확한 마스크 얼라이닝과 처리량 최적화를 통해 복잡한 구조물을 안정적이고 높은 수율로 노광할 수 있습니다.
마스크 얼라인먼트
UV 스캐닝
임시, 영구 및 하이브리드 본딩을 위한 SUSS의 솔루션으로 고정밀 본딩 프로세스를 실행하세요. 확장 가능한 모듈식 플랫폼을 기반으로 구축된 당사의 시스템은 고객의 요구에 맞게 조정되어 최적의 디바이스 품질과 최대 수율을 보장합니다.
임시 본딩
영구 본딩
입자 없는 청결도와 엄격한 공정 제어를 결합한 첨단 포토마스크 솔루션으로 차세대 리소그래피에 의존하여 EUV 및 DUV 레이어에서 패턴 충실도와 수율을 보호하세요.
베이킹 & 현상액
청소
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