친환경 생산을 위한 첨단 웨이퍼 세정 기술
GreenTec Solutions는 지속 가능하고 친환경적인 세정 방식, 모듈형 유연성, 인시투 UV 기술을 결합해 까다로운 웨이퍼 세정 및 표면 활성화 공정을 응용 분야에 맞춘 Green Fluids, CrustBuster 인시투 UV 모듈, 하이브리드 공정 접근 방식을 통해 GreenTec Solutions는 팹의 복잡성을 줄이고 KPI 기반의 안정적인 생산을 지원합니다.
미드엔드 및 백엔드 응용 분야를 위한 지속 가능한 웨이퍼 세정
세정 기술과 공정 모듈을 조합하면 하나의 플랫폼에서 다양한 잔류물 특성과 표면 요구 사항을 지원할 수 있습니다.이를 통해 여러 독립형 장비에 의존하지 않고도 더 폭넓은 응용 분야를 지원할 수 있습니다.
단일 웨이퍼 처리, 배치 세정, 표면 활성화를 하나의 구성 가능한 시스템에 결합할 수 있습니다.이를 통해 이송, 인터페이스, 레시피 분산을 줄이고 팹 구성을 더욱 간결하게 할 수 있습니다.
정비 접근성이 높은 시스템 구조, 모듈형 유닛, 명확하게 정의된 유지보수 절차를 통해 효율적인 서비스를 지원합니다.솔루션과 함께 제공되는 체계적인 서비스 전략은 유지보수 부담을 줄이고 예기치 않은 가동 중단을 최소화하는 데 도움이 됩니다.
Green Fluids는 응용 분야를 고려해 선정하고 개발합니다.고객과 함께 유체 개념을 공정 요구 사항, 소재 호환성 및 정의된 성능 기준에 맞춥니다.
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