環境に配慮した生産を支える先進的なウェーハ洗浄技術
GreenTec Solutionsは、持続可能で環境に配慮した洗浄方法、モジュール式の柔軟性、そしてin-situ UV技術を組み合わせ、要求の厳しいウェーハ洗浄および表面活性化プロセスを支援します。用途に合わせたGreen Fluids、CrustBuster in-situ UVモジュール、そしてハイブリッドプロセスにより、GreenTec Solutionsはファブの複雑さを軽減しながら、信頼性の高いKPI主導の生産を支援します。
ミッドエンドからバックエンド用途に向けた持続可能なウェーハ洗浄
: 複数の洗浄技術とプロセスモジュールを組み合わせることで、1つのプラットフォーム上でさまざまな残渣特性や表面要件に対応できます。これにより、複数の独立した装置に頼ることなく、より幅広い用途に対応できます。
枚葉処理、バッチ洗浄、表面活性化を、1つの構成可能なシステムに組み合わせることができます。これにより、ウェーハの搬送、インターフェース、レシピの分断を減らし、より合理的なファブ構成を支援します。
メンテナンスしやすいシステム構造、モジュール式ユニット、明確に定められた保守手順により、効率的なサービスを実現します。ソリューションと併せた体系的なサービス戦略により、保守作業の負担を軽減し、計画外のダウンタイムを最小限に抑えます。
Green Fluidsは、用途を考慮して選定・開発されます。お客様とともに、流体コンセプトをプロセス要件、材料適合性、定められた性能基準に合わせて調整します。
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