あらゆる接合に最高の信頼性を

ウェーハボンディングシステム

SUSSのパーマネントボンディングシステムは、今日の先進パッケージングに必要な精度と信頼性を提供します。優れたボンドアライメントのための洗練された技術と、多様なウェーハや材料に対応するスケーラブルなプラットフォームは、デバイスの品質、最大の歩留まり、そして研究開発から大量生産まで、将来に備えたボンディングを保証します。

エキスパートへのお問い合わせ
DSC00169_highRes.jpg

アプリケーションを問わない信頼性の高いボンディング

高耐久性でボイドのないウェーハボンディングを精密な制御で実現します：*SUSS'システムは、あらゆるプロセスで高い接合後の精度、品質、歩留まりを実現します。

トップ製品

トップ製品をご覧ください

XBC300 Gen2 D2W/W2W

W2W、コレクティブD2W、シーケンシャルD2Wボンディングを1台に統合したハイブリッドボンディングプラットフォーム。
詳細を見る
XBC300~1.PNG
自動化された

XBC300 Gen2 D2W

XBC300 Gen2 D2Wは、200mmおよび300mm基板へのシーケンシャルD2Wハイブリッドボンディングの完全自動化ソリューションです。
詳細を見る
XBC300 Gen2 D2W hybrid bonding platform by SUSS
自動化された

XBS300 W2W

XBS300 W2Wハイブリッドボンディングプラットフォームは、アライメントされた200mmおよび300mmウェーハの自動ハイブリッドフュージョン接合用に設計されています。
詳細を見る
自動化された

XBS200

大量生産用のユニバーサル自動ウェーハボンディングプラットフォームで、最大200mmまでのウェーハサイズのアライメントが可能です。
詳細を見る
XBS200 wafer bonder platform by SUSS
自動化された

SB8 Gen2

最大200mmまでのウェーハをハンドリングするユニバーサル半自動ウェーハボンディングシステム。
詳細を見る
SB8_Gen2-1600x1200.png
半自動式

XB8

最大200mmまでの基板サイズに対応する汎用半自動高荷重ウェーハボンダー。
詳細を見る
XB8-1600x1200.png
半自動式

主なメリット

厳しい工程管理

業界をリードするテクノロジーが、サブミクロンのオーバーレイ精度とボイドのない結果を実現し、高品質で耐久性のあるパッケージングを保証します。

比類のない柔軟性

モジュラー構成は、高密度ハイブリッド、MEMS、LED、新興デバイスアーキテクチャに理想的な幅広いウェーハ、スタックアップ、先進パッケージング材料をサポートします。

実証済みの大量生産

SUSSのパーマネント・ボンディング・ソリューションは、高スループット、高ステークスの半導体製造の厳しさに合わせて設計されており、あらゆるスケールで信頼性、再現性、デバイスの完全性を保証します。

DSC08565_highRes.jpg

最適な品質のためのスマートな計測

SUSSパーマネントボンディングシステムの統合アライメント計測は、サブミクロンのレイヤーアライメントと長期安定性を保証します。トポロジーを取得し、オーバーレイを検証し、プロセスシフトを監視することで、システムは逸脱を早期に検出します。これにより、ハイブリッドボンディングおよびダイレクトプロセスのボンディング品質を保護します。

オーバーレイ精度の向上

トポロジースキャン、スマートな基準点位置合わせ、厳しいアライメント仕様が最高の精度を保証します。
_DSC05~1.JPG

統合品質管理

インライン・モニタリングがシフトを早期に検出し、安定した再現性の高い接合と歩留まりの向上を実現します。
garching_-8783.jpg
Product Overview Brochure EN
PDF
XBC300 Gen2 D2W/W2W Datasheet
PDF
XBC300 Gen2 D2W Datasheet
PDF

関連出版物

プレスリリース、投資家向けニュースなど：SUSSの最新情報をご覧ください。

17/11/2025
SUSS presents ambitious plans for further sales growth and sustainable margin improvement at Capital Markets Day
Corporate News
CapitalMarketsDay_NewsTeaser_Small_642x362_16_9.jpg
06/11/2025
SUSS expects significant improvement in order momentum in the fourth quarter
Corporate News
QuarterlyFigures_NewsTeaser_Small_642x362_16_9.jpg
30/10/2025
New SUSS production site in Zhubei has officially opened
Corporate News
Zhubei_Opening_NewsTeaser_Small_642x362_16_9.jpg
07/08/2025
SUSS finishes first half of the year with significant sales growth
Corporate News