모든 본딩에서 최고의 신뢰성

영구 웨이퍼 본딩 시스템

SUSS의 영구 본딩 시스템은 오늘날의 어드벤스드 패키징(Advanced Packaging)에 필요한 정밀도와 신뢰성을 제공합니다. 우수한 본드 얼라이언스를 위한 정교한 기술과 다양한 웨이퍼 및 재료를 위한 확장 가능한 플랫폼은 R&D부터 대량 생산에 이르기까지 소자 품질, 최대 수율, 미래 대비 본딩을 보장합니다.

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다양한 애플리케이션에서 신뢰할 수 있는 본딩

정밀한 제어로 내구성이 뛰어나고 보이드가 없는 웨이퍼 본딩: 모든 공정에서 높은 본딩 후 정확도, 품질 및 높은 수율을 제공하는 SUSS' 시스템.

주요 제품

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XBC300 Gen2 D2W/W2W

W2W, collective D2W, sequential D2W 본딩을 단일 시스템에 통합한 하이브리드 본딩 플랫폼입니다.
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자동화된

XBC300 Gen2 D2W

XBC300 Gen2 D2W는 200mm 및 300mm 기판의 sequential die-to-wafer 하이브리드 본딩을 위한 완전 자동화된 솔루션입니다.
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XBC300 Gen2 D2W hybrid bonding platform by SUSS
자동화된

XBS300 W2W

XBS300 W2W 하이브리드 본딩 플랫폼은 200mm 및 300mm 웨이퍼의 자동화된 하이브리드 퓨전 본딩을 위해 설계되었습니다.
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자동화된

XBS200

대량 생산을 위한 범용 자동 웨이퍼 본딩 플랫폼으로, 최대 200mm 크기의 웨이퍼를 얼라인먼트(Alignment) 본딩할 수 있습니다.
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XBS200 wafer bonder platform by SUSS
자동화된

SB8 2세대

범용 반자동 웨이퍼 본딩 시스템으로 최대 200mm 웨이퍼 핸들링.
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반자동

XB8

최대 200mm 웨이퍼 크기의 기판을 지원하는 범용 반자동 고강도 웨이퍼 본더.
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반자동

주요 이점

엄격한 프로세스 제어

업계를 선도하는 기술로 서브미크론 오버레이 정밀도와 보이드 없는 결과물을 제공하여 고품질의 내구성 있는 패키징을 보장합니다.

탁월한 유연성

모듈식 구성은 고밀도 하이브리드, MEMS, LED 및 새로운 장치 아키텍처에 이상적인 광범위한 웨이퍼, 스택업 및 어드벤스드 패키징(Advanced Packaging) 재료를 지원합니다.

검증된 대량 생산

처리량이 많고 리스크가 큰 반도체 생산의 까다로운 조건을 위해 설계된 SUSS' 영구 접착 솔루션은 모든 규모에서 신뢰성, 재현성 및 디바이스 무결성을 보장합니다.

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최적의 품질을 위한 스마트 계측

SUSS' 영구 본딩 시스템의 통합 계측 기능은 미크론 이하의 레이어 정렬과 장기적인 안정성을 보장합니다. 이 시스템은 토폴로지를 캡처하고 오버레이를 확인하며 공정 변화를 모니터링하여 편차를 조기에 감지합니다. 이를 통해 하이브리드 및 직접 공정 전반에서 본딩 품질을 보호합니다.

오버레이 정확도 향상

토폴로지 스캔, 스마트한 기준점 배치, 엄격한 얼라인먼트(Alignment) 사양으로 최고의 정확도를 보장합니다.
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통합 품질 관리

인라인 모니터링은 변화를 조기에 감지하여 안정적이고 반복 가능한 본딩과 높은 수율을 보장합니다.
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