Maximale Zuverlässigkeit bei jeder Verbindung

Permanente Wafer-Bonding-Systeme

Die permanenten Bondsysteme von SUSS bieten die Präzision und Zuverlässigkeit, die für das moderne Packaging erforderlich sind. Ausgefeilte Technologien für eine hervorragende Bondausrichtung und skalierbare Plattformen für unterschiedliche Wafer und Materialien gewährleisten Gerätequalität, maximale Ausbeute und zukunftssicheres Bonden von der Forschung und Entwicklung bis zur Großserienproduktion.

DSC00169_highRes.jpg

Zuverlässiges Bonden bei allen Anwendungen

Dauerhafte, lunkerfreie Waferbonds mit präziser Kontrolle: SUSS Systeme liefern hohe Post-Bond-Genauigkeit, Qualität und hohe Ausbeute für jeden Prozess.

Top-Produkte

Entdecken Sie unsere Top-Produkte

XBC300 Gen2 D2W/W2W

Hybride Bonding-Plattform, die W2W, kollektives D2W und sequentielles D2W-Bonding in einem einzigen System integriert.
Mehr erfahren
XBC300~1.PNG
vollautomatisch

XBC300 Gen2 D2W

Der XBC300 Gen2 D2W ist Ihre vollautomatische Lösung für das sequentielle Die-to-Wafer-Hybridbonden auf 200mm- und 300mm-Substraten.
Mehr erfahren
XBC300 Gen2 D2W hybrid bonding platform by SUSS
vollautomatisch

XBS300 W2W

Die XBS300 W2W Hybrid-Bonding-Plattform ist für das automatisierte Hybrid-Fusionsbonden von ausgerichteten 200mm- und 300mm-Wafern konzipiert.
Mehr erfahren
vollautomatisch

XBS200

Universelle, automatisierte Wafer-Bonding-Plattform für die Großserienproduktion, die das ausgerichtete Bonden von Wafern bis zu einer Größe von 200 mm ermöglicht.
Mehr erfahren
XBS200 wafer bonder platform by SUSS
vollautomatisch

XB8

Universeller, halbautomatischer High-Force-Wafer-Bonder, der Substrate mit einer Wafergröße von bis zu 200 mm unterstützt.
Mehr erfahren
XB8-1600x1200.png
halbautomatisch

SB8 Gen2

Universelles, halbautomatisches Wafer-Bonding-System, das Wafer bis zu 200 mm bearbeitet.
Mehr erfahren
SB8_Gen2-1600x1200.png
halbautomatisch

Wesentliche Vorteile

Strenge Prozesskontrolle

Branchenführende Technologien sorgen für Submikron-Präzision und lunkerfreie Ergebnisse und damit für hochwertige, langlebige Verpackungen.

Unerreichte Flexibilität

Modulare Konfigurationen unterstützen eine breite Palette von Wafern, Stapeln und fortschrittlichen Verpackungsmaterialien, die sich ideal für Hybrid-, MEMS-, LED- und neuartige Gerätearchitekturen mit hoher Dichte eignen.

Bewährte Serienfertigung

Die permanenten Bondlösungen von SUSS wurden für die Anforderungen der Halbleiterproduktion mit hohem Durchsatz und hohem Risiko entwickelt und gewährleisten Zuverlässigkeit, Reproduzierbarkeit und Bauteilintegrität in jedem Maßstab.

DSC08565_highRes.jpg

Intelligente Metrologie für optimale Qualität

Die integrierte Messtechnik in den SUSS Permanent-Bonding-Systemen gewährleistet die Ausrichtung der Schichten im Submikrometerbereich und eine langfristige Stabilität. Durch die Erfassung der Topologie, die Überprüfung der Überlagerung und die Überwachung von Prozessverschiebungen erkennt das System Abweichungen frühzeitig. Dies sichert die Qualität der Verklebung in Hybrid- und Direktprozessen.

Verbesserte Overlay-Genauigkeit

Topologie-Scans, intelligente Fiducial-Platzierung und enge Ausrichtungsvorgaben garantieren höchste Genauigkeit.
_DSC05~1.JPG

Integrierte Qualitätskontrolle

Durch die Inline-Überwachung werden Verschiebungen frühzeitig erkannt, was eine stabile, wiederholbare Verklebung und eine höhere Ausbeute gewährleistet.
garching_-8783.jpg