Tintenstrahldruck

Präzise, kontaktlose Abscheidung mit minimalem Abfall: Die Inkjet-Drucklösungen von SUSS ermöglichen kundenspezifische Wafer-Anwendungen, minimieren das Kontaminationsrisiko und steigern die Effizienz. Die Systeme sind flexibel für verschiedene Substrate und skalierbar von der Forschung und Entwicklung bis hin zur Serienproduktion und ermöglichen nachhaltige, kostengünstige Prozesse.

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Effizienter Druck für komplexe Materialien

Saubere, selektive Abscheidung reduziert Fehler und steigert die Ausbeute, von Experimenten im Labormaßstab bis zur Waferproduktion im großen Maßstab.

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LP50

Der LP50 ist der vielseitige F&E-Tintenstrahldrucker für Funktionsmaterialien, der eine schnelle Prozessentwicklung und Materialbewertung ermöglicht
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JETx

JETx - die fortschrittlichste Tintenstrahldrucklösung für die Großserienproduktion von Funktionsmaterialien, die speziell für die Halbleiterindustrie und angrenzende Märkte entwickelt wurde.
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vollautomatisch

SUSS Tintenstrahldruck

Wichtigste Vorteile

Präzision im Mikrometerbereich

Platzieren Sie Materialien genau dort, wo sie benötigt werden: Die Inkjet-Systeme von SUSS ermöglichen eine hochpräzise, kontaktlose Abscheidung für komplexe Waferdesigns und kundenspezifische Anwendungen mit einer Genauigkeit von bis zu 20 Mikrometern. Dies führt zu weniger Defekten, saubereren Prozessen und zuverlässiger Leistung von der Forschung und Entwicklung bis hin zur Serienproduktion.

Materialeffizienz

Reduzieren Sie den Materialverbrauch erheblich: Die fortschrittlichen Tintenstrahldruckfunktionen von SUSS ersetzen herkömmliche Techniken wie Lithografie, Siebdruck, Sprühbeschichtung und Dispensen und machen damit Masken und Schablonen überflüssig. Dies ermöglicht schnellere Produktwechsel, senkt die Kosten und unterstützt eine nachhaltigere Produktion.

Systeme für jede Anwendung

Vielseitig vom Laborversuch bis zur Großserienproduktion: Die Plattformen der Inkjet-Drucksysteme von SUSS eignen sich für eine breite Palette von Substraten und Materialien. Flexible Konfigurationen ermöglichen eine schnelle Anpassung an neue Anwendungen, einen maximalen Durchsatz, Prozesssicherheit und Zukunftssicherheit für sich entwickelnde technologische Anforderungen.

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Integrierte Messtechnik für Vision Control

Vision-optimierter Inkjet-Druck: Das integrierte DI300-Modul gewährleistet Präzision im Submikrometerbereich, gleicht Substratverschiebungen aus und ermöglicht eine intelligente Beschichtung mit hohem Durchsatz für maximale Ausbeute und minimalen Ausschuss.

Bildausrichtung in Echtzeit

Die In-line Fiduzial-Erkennung korrigiert Verschiebungen und Verformungen und liefert eine Positionierungsgenauigkeit von unter 2 µm.
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Ertragsorientierte Abscheidungskontrolle

Dynamische Korrekturen reduzieren den Ausschuss, unterstützen benutzerdefinierte Muster und sorgen für einen hohen Produktionsdurchsatz.
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Downloads

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