喷墨打印解决方案

精密、非接觸式沉積,廢棄物最少:SUSS' 噴墨打印解決方案可提供客製化的晶圓應用、將污染風險降至最低並提高效率。該系統可靈活運用於各種基板,並可從研發階段擴展至全面生產階段,從而實現可持續且具成本效益的製程。

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複雜材料的高效印刷

從實驗室規模的實驗到全面的晶圓生產,潔淨、選擇性的沉積可減少誤差並提高良率。

頂級產品

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LP50

LP50 是功能性材料的多功能研發型喷墨打印机,可快速進行製程開發和材料評估。
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手動

JETx

JETx - 最先進的功能性材料大批量生產用的 噴墨打印解決方案,專為半導體及相鄰市場設計。
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自動化

SUSS' 噴墨打印解決方案

主要優勢

微米級精度

將功能性材料準確地放置在需要的位置:SUSS' 噴墨系統為複雜的晶圓設計和客製化應用提供高精度、非接觸式沉積,最小可達 20 微米,從研發到全面量產,可減少瑕疵、簡化製程並提供可靠的效能。

材料效率

大幅減少材料用量:SUSS' 複雜的噴墨打印功能可取代平版印刷、網版印刷、噴塗和點膠等傳統技術,因此不需要遮罩和網版。這可加快產品的更換速度、降低成本,並支援更永續的生產。

適用於任何應用的系統

從實驗室試驗到全面生產,用途廣泛:SUSS' 噴墨打印系統平台可處理各種基板和材料。靈活的配置可快速適應新的應用、最大吞吐量、製程可靠性,以及未來不斷演進的技術需求。

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視覺控制的整合式計量

視覺最佳化的喷墨打印:整合式 DI300 模組可確保亞微米精度、補償基板偏移,並實現高吞吐量、智慧型沉積,以達到最高良率和最少廢料。

即時視覺對準

線上基准標記偵測可校正偏移和翹曲,提供低於 2 µm 的定位精度。
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良率聚焦沉積控制

動態修正可減少廢料、支援客製化圖案,並維持高吞吐量生產。
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下載

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