從光罩清洗到高精度曝光成像，以及塗佈與鍵合系統，我們提供完整的解決方案，協助提升製程效率與穩定性，並兼顧成本效益。透過一致且可重複的製程表現，進一步提升良率並維持穩定的產量。
憑藉均勻的塗佈品質、穩定的製程表現與彈性的調整能力，可協助您最佳化生產流程、提升良率一致性，並有效降低總持有成本
塗佈與顯影
噴墨打印
我們實現了精確的掩模對準機率，並優化了吞吐量，因此您可以可靠、高良率地曝光複雜結構。
掩模對準機
UV 掃描
利用 SUSS 的臨時、永久和混合鍵合解決方案，執行高精度的鍵合工藝。我們的系統建構在可擴充的模組化平台上，能因應您的需求，確保最佳的元件品質與最高良率。
臨時接合
永久接合
利用我們先進的光掩模加工解決方案，結合無微粒清潔度與嚴密製程控制，保護圖案的保真度，並提高 EUV 與 DUV 層的良率。
烘烤與顯影液
清潔
我們不僅提供高性能設備——更以清晰透明的方式分享服務、品質與企業責任相關資訊。深入探索以下領域，獲取更全面的洞察。
服務
SUSS 培訓中心
品質管理
讓我們一起創新成長！告訴我們您的專案和挑戰 - 讓我們為您提供完美的解決方案。
