光罩加工平台
ASx 系列 光罩加工平台
最大化良率與品質：ASx 系列是全自動化的光罩加工平台，可在單一系統中進行先進的烘烤、光阻剝離清洗、烘烤與顯影製程，適用於 250 奈米至 65 奈米晶圓。
MaskTrack Pro 系列
世界級光掩模清洗、烘烤與顯影的旗艦平台，適用於先進的工業光刻應用。
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傑出的效能、精巧的設計
ASx 系列結合了業界領先的精準度與最高的可靠性和效能，可因應 248 奈米和 193 奈米光刻所暴露的光罩無瑕疵製程中嚴格挑戰。兼具卓越的清洗效率和極致的經濟效益。
領先業界的佔地面積
佔地面積小：ASx 系列的尺寸為 1200 × 1200 mm，可實現最大的空間利用率和更低的擁有成本 - 不影響優質的處理效能。
精密工程與卓越製造的完美結合
ASx 系列光罩加工平台的主要特色
ASx 系列透過智慧型溫度控制、自動化製程最佳化及瑕疵最小化顯影液技術，提供毫不妥協的技術效能，進而將複雜的光罩加工轉換為一致的業界領先成果。
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