塗佈解決方案

MCS8 手動塗佈及顯影系統

MCS8 提供模組層級的多元選配，可彈性配置並支援超過 500 種設定組合，帶來高度製程彈性。作為手動塗佈與水性顯影的解決方案，MCS8 特別適用於新創團隊、研發 R&D 與小量生產環境

聯絡專家
MCS8-1600x1200.png

可依需求個別調整的系統

透過 MCS8，您可依製程需求彈性建置流程，從旋轉塗佈與顯影，到烘烤與清洗皆可依模組進行配置。智慧化的模組化設計在節省占地的同時維持操作簡便，並支援多元應用，提供穩定且一致的製程表現

超過 500 種配置可能

MCS8 可整合多種塗佈、顯影、烘烤與清洗模組，如 RCD8、AS8、HP8、LabSpin8、VP8、CP8，並可依製程需求與應用情境進行模組化配置，組合出超過 500 種設定選項

穩健的小量 / 高產能製程表現

MCS8 建構於成熟的高產量製造 HVM 技術基礎之上，將量產等級的可靠性、精準度與製程穩定性帶入實驗室、新創與試產線，並可依現場需求以合適規模部署

精巧占地

憑藉模組化設計，MCS8 以精巧占地提供多元功能選擇。僅需一套供應系統與一套廢液管理系統，即可支援設備彈性擴充，節省寶貴的無塵室空間

可擴充為完整 LabCluster

可從小規模起步，隨需求成長逐步擴充。MCS8 LabCluster 最多可配置六個框架Frame，每個框架可搭配兩個模組進行客製化組合、亦可選配塗佈、顯影或底塗Priming工具，打造更完整的一站式製程配置

MCS8 手動塗佈系統 的主要特色

為創新而生的擴充性

從早期研究到小量生產，MCS8 可隨您的專案一同成長。系統可由單一模組擴充至六個機架、共十二個模組，並可擴展為完整的 LabCluster，支援無可比擬的先進應用範圍

DSC09815-Bearbeitet_highRes.jpg
打造最適合您的模組配置

每框架 Frame 可配置兩個可客製化模組，作為 MCS8 的起始組合。您可從 SUSS 多樣化的手動與半自動塗佈／水性顯影設備中選擇模組，例如 LabSpin8、HP8 熱板、VP8 （Vapor Primer），以及具主動冷卻功能的 CP8 冷板

透過新功能升級

擴展更多可能：系統可加裝多項選配功能，例如 LabSpin 的自動供液系統，或熱板用的近接定位針 Proximity Pins 。這些升級有助於簡化工作流程、提升製程一致性，並擴充系統能力以對應更多應用需求

建置完整製程解決方案

打造一體整合的製程配置：MCS8 LabCluster 最多可結合六個框架，總計 12 個模組於同一套系統中；並可搭配 SUSS 的 RCD8 或 AS8 等塗佈／顯影工具，支援多元應用領域，包括 MEMS、III-V、電子束微影、奈米壓印、微流體與微光學等

下載

想要瞭解更多詳細資訊？請點選以下連結，下載技術資料表和深入產品資訊的產品簡報。

Product Overview Brochure EN
PDF

相關 產品

探索我們的半自動化塗布機與顯影液平台產品組合

ACS200 Gen3

適用於 100 - 200 mm 基板的自動化鍍膜平台，具有無與倫比的多功能性，適用於研發和大批量生產。
了解更多
ACS200_Gen3-1600x1200.png
自動化

ACS200 Gen3 TE

ACS200 Gen3 TE 以 ACS200 Gen3 平台為基礎，是專為 100 mm 至 200 mm 晶圓設計的增強型模組化系統。
了解更多
ACS200_Gen3_TE-1600x1200.png
自動化

隨時掌握最新資訊：SUSS 最新消息

新聞稿、投資人關係新聞等：探索我們的最新出版物，瞭解 SUSS 的最新動態。

16/02/2026
SUSS concludes new syndicated loan agreement
Corporate News
QuarterlyFigures_NewsTeaser_Small_642x362_16_9.jpg
19/01/2026
Supervisory Board extends contracts of CEO Burkhardt Frick and CFO Dr. Cornelia Ballwießer
Corporate News
SUSS CEO und COO Verlängerung.jpg
17/11/2025
SUSS presents ambitious plans for further sales growth and sustainable margin improvement at Capital Markets Day
Corporate News
SUSS Logo and the words Capital Markets Day 2025
06/11/2025
SUSS expects significant improvement in order momentum in the fourth quarter
Corporate News
QuarterlyFigures_NewsTeaser_Small_642x362_16_9.jpg