コーティングソリューション

MCS8 マニュアル塗布現像液システム

MCS8プラットフォームは、スタートアップ、研究開発、少量生産向けの、高いプロセス汎用性を備えた手動コーティングおよび水系現像液ソリューションです。

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個別に適応可能なシステム

MCS8では、スピンコーティングや現像液からベークや洗浄まで、必要なプロセスを正確にセットアップできます。スマートなモジュール設計は、貴重なスペースを節約し、操作をシンプルに保ち、幅広いアプリケーションで信頼性の高い結果を提供します。

500以上の可能性

RCD8、AS8、HP8、LabSpin8、VP8、CP8 - MCS8は、コーティング、現像液、ベーク、クリーニングの各モジュールを統合しており、各プロセスのニーズや用途に応じてシステムを構成できます。

堅牢な大量生産

実績のあるHVMテクノロジーをベースに構築されたMCS8は、ラボ、スタートアップ、パイロットラインに、大量生産で信頼されているのと同じ信頼性の高いパフォーマンス、精度、プロセスの安定性を提供します。

コンパクトフットプリント

モジュール設計により、MCS8はクラス最小のフットプリントで多様な機能を提供します。供給管理システムと廃棄物管理システムは1つだけなので、貴重なラボスペースを節約しながら、柔軟にシステムを拡張することができます。

完全なラボクラスターまで拡張可能

MCS8ラボクラスターは、最大6つのフレームと各2つのモジュールを組み合わせることで、個別に構成することができます。オプションのコーティング、現像液、下塗り装置を追加することで、完全なプロセスソリューションをセットアップできます。

MCS8マニュアルコーティングシステムの主な特長

イノベーションのために構築された拡張性

初期研究から小規模まで、MCS8はお客様のプロジェクトと共に成長します。MCS8は、1モジュールシステムから6フレーム12モジュールまで拡張可能で、比類のない幅広い高度なアプリケーションに対応する完全なLabClusterへとスケールアップします。

完璧なモジュールの構築

LabSpin8、ホットプレートHP8、ベーパープライマーVP8、アクティブ冷却クールプレートCP8など、SUSSの幅広い手動・半自動コーターや水系現像液から選択した、1フレームあたり2つのカスタマイズ可能なモジュールでMCS8構成を開始します。

新機能でアップグレード

可能性を広げる：LabSpins用の自動ディスペンシングシステム／ホットプレート用の近接ピンなどのオプション機能を追加できます。これらの機能強化は、ワークフローを合理化し、一貫性を向上させ、より多くのシステム機能を導入します。

完全なプロセスソリューションのセットアップ

完全に統合されたプロセスソリューション：最大6つのフレームを組み合わせ、合計12のモジュールを1つのMCS8 LabClusterに搭載。SUSSのRCD8やAS8のような先進的なコーティング装置や現像液を追加することで、MEMSやIII-Vから電子ビームリソグラフィー、ナノインプリント、マイクロ流体、マイクロオプティクスまで、あらゆるアプリケーションの可能性を広げることができます。