코팅 솔루션

MCS8 수동 코팅 및 현상액 시스템

모듈 수준까지 다양한 옵션과 500개 이상의 설정이 가능한 유연한 구성: MCS8 플랫폼은 스타트업, R&D 및 소량 생산을 위한 높은 공정 범용성을 갖춘 수동 코팅 및 수성 현상기(PR용) 솔루션입니다.

개별적으로 조정 가능한 시스템

MCS8을 사용하면 스핀 코팅 및 현상액부터 베이킹 및 세척에 이르기까지 필요에 따라 공정을 정확하게 설정할 수 있습니다. 스마트한 모듈식 설계로 소중한 공간을 절약하고 조작이 간편하며 다양한 응용 분야에서 신뢰할 수 있는 결과를 제공합니다.

500가지 이상의 가능성

RCD8, AS8, HP8, LabSpin8, VP8, CP8 - MCS8은 다양한 코팅, 현상액, 베이킹 및 세척 모듈을 통합하여 개별 공정 요구 사항과 용도에 따라 시스템을 구성합니다.

강력한 대량 생산 능력

검증된 HVM 기술을 기반으로 구축된 MCS8은 실험실, 스타트업 및 파일럿 라인에 대량 생산에서 신뢰받는 안정적인 성능, 정밀도 및 공정 안정성을 사용자의 환경에 맞게 완벽하게 확장할 수 있습니다.

컴팩트한 설치 공간

모듈식 설계 덕분에 MCS8은 동급에서 가장 작은 클린룸 설치 공간에 가장 다양한 기능을 제공합니다. 단 하나의 공급 및 폐기물 관리 시스템으로 귀중한 실험실 공간을 절약하면서 시스템을 유연하게 확장할 수 있습니다.

전체 LabCluster로 확장 가능

소규모로 시작하여 필요할 때 확장: MCS8 LabCluster는 최대 6개의 플립칩 본더와 각각 2개의 모듈을 결합하여 개별적으로 구성할 수 있습니다. 옵션으로 코팅, 현상액 또는 프라이밍 툴(Tool)을 추가하여 완벽한 공정 솔루션을 설정할 수 있습니다.

MCS8 수동 코팅 시스템의 주요 특징

혁신을 위한 확장성

초기 연구부터 소규모까지 MCS8은 프로젝트와 함께 성장합니다. 단일 모듈 시스템에서 12개의 모듈이 포함된 6개의 플립칩 본더로 확장할 수 있는 MCS8은 다양한 고급 애플리케이션을 위한 완벽한 랩클러스터로 확장할 수 있습니다.

완벽한 모듈 구축

LabSpin8, 핫 플레이트 HP8 , 베이퍼 프라이머 VP8 또는 능동 냉각식 쿨 플레이트 CP8을 포함한 SUSS의 다양한 수동 및 반자동 코터와 수성 현상기 중에서 선택하여 프레임당 2개의 맞춤형 모듈로 MCS8 구성을 시작할 수 있습니다.

새로운 기능으로 업그레이드

가능성 확장: 랩스핀용 자동 디스펜싱 시스템 또는 핫 플레이트용 근접 핀과 같은 옵션 기능을 추가하세요. 이러한 개선 사항은 워크플로우를 간소화하고 일관성을 개선하며 더 많은 시스템 기능을 도입합니다.

완벽한 프로세스 솔루션 설정

완전히 통합된 공정 솔루션 생성: 최대 6개의 플립칩 본더를 결합하여 단일 MCS8 LabCluster에서 총 12개의 모듈을 사용할 수 있습니다. SUSS의 RCD8 또는 AS8과 같은 고급 코팅 및 현상액 툴(Tool)을 추가하여 MEMS 및 III-V부터 전자빔 리소그래피, 나노 임프린팅, 미세 유체학 및 마이크로 광학에 이르기까지 모든 애플리케이션의 가능성을 열어보세요.