从光掩模加工到高精度成像、镀膜和粘接系统：我们开发的解决方案可确保高效、稳定和经济高效的工艺，从而实现良率和稳定的吞吐量。
均匀的涂层、稳定的工艺和灵活的调整可帮助您优化生产工作流程，同时实现最低的总拥有成本。
涂层和显影液
喷墨打印
我们实现了对掩模的精确对准并优化了吞吐量，因此您可以可靠、高良率地曝光复杂结构。
掩模对准机
紫外线扫描
利用苏斯的临时键合、永久键合和混合键合解决方案，执行高精度的键合工艺。我们的系统建立在一个可扩展的模块化平台上，能够满足您的需求，确保最佳的器件质量和最高的良率。
临时粘合
永久粘接
利用我们先进的光掩模加工解决方案实现下一代光刻技术，结合无颗粒洁净度和严格的工艺控制，在 EUV 和 DUV 层保护图案保真度和良率。
烘焙 & 显影工艺
清洗工艺
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