發現面向未來的技術 具有可擴展的影響力

從光掩模加工到高精密成像、鍍膜和接合系統:我們所開發的解決方案可確保高效、穩定且具成本效益的製程,以達到高良率與穩定的吞吐量。

鍍膜解決方案 靈活的高良率結果

均勻的塗層、穩定的製程和靈活的調整可幫助您優化生產工作流程,同時實現最低的總擁有成本。

成像解決方案 實現精確的掩模對準機

我們實現了精確的掩模對準機率,並優化了吞吐量,因此您可以可靠、高良率地曝光複雜結構。

高精確度 膠合解決方案 實現可靠的結果

利用 SUSS 的臨時、永久和混合鍵合解決方案,執行高精度的鍵合工藝。我們的系統建構在可擴充的模組化平台上,能因應您的需求,確保最佳的元件品質與最高良率。

光罩解決方案 適用於高良率、未來就緒的光刻技術

利用我們先進的光掩模加工解決方案,結合無微粒清潔度與嚴密製程控制,保護圖案的保真度,並提高 EUV 與 DUV 層的良率。