塗佈解決方案

AS8 手動噴塗塗佈機

在高起伏形狀等具挑戰性的表面進行噴塗塗佈：AS8 手動噴塗塗佈機適用於研發 R&D 與小量生產，支援最大 200 mm 圓形基板，亦可處理邊長最大 6 吋的方形基板。此精巧系統結合智慧化操作介面與 SUSS 塗佈技術，可提供均勻且高重複性的塗佈品質

與專家交流

在任何形狀上皆能實現均勻、可靠的塗佈

AS8 即使面對高難度 3D 結構，也能提供均勻且覆蓋性良好的光阻沉積效果。系統整合可程式化的噴塗與清洗參數設定，簡化複雜塗佈流程，並有助於提升良率與製程一致性。全套功能整合於精巧機身之中，專為研發 R&D 與小量製造而設計，兼顧性能與操作便利性

複雜形狀的精準塗佈

即使在高挑戰性的表面結構上，AS8 仍能提供可靠的噴塗能力，其精密噴塗技術可有效應對大幅形貌起伏，並在複雜基板上形成均勻的塗層

卓越的塗佈均勻性

提供貼合性良好的塗佈效果，並透過精準的邊緣覆蓋控制，降低光阻在溝槽 Trench 中的堆積風險，確保圖案線條清晰俐落。同時可在整片基板上為微結構提供均勻且可靠的保護層

專有噴塗設計

SUSS 專有噴塗設計提升製程穩定性與高重複性，讓每一批次皆能維持一致且可靠的製程表現，特別適合對品質要求嚴格的研發與試產應用

AS8 手動噴塗機的主要特色

塗佈性能可依需求彈性配置

AS8 專為基板層級的彈性與精準度而設計，特別適用於研發與試產。其精密的光阻供給系統與可程式化配方 recipes，可針對各種常見晶圓與基板規格提供客製化的製程控制，並支援未來的無縫擴充

基板彈性

彈性配置以因應需求變化，支援最大 6 吋圓形／方形基板：

雙噴嘴模式：Ø150 mm、Ø200 mm

單噴嘴模式：Ø3 吋、Ø100 mm、Ø150 mm、Ø200 mm

高精度 X/Y 平台及噴塗噴嘴

高達 45 mm 的 Z 軸， 67.5–107.5 mm 的噴嘴調整範圍，可依不同製程需求進行最佳化設定。噴塗軸速度最高 500 mm/s、加速度最高 9 m/s²，提供精準塗佈可重複的製程表現。另可選用雙噴塗噴嘴並搭配獨立溶劑噴嘴，實現更精準跟彈性，縮短配方 Recipe 執行時間、提升整體速率