涂层解决方案

适用于高拓扑结构的 AS8 手动喷涂机

在具有挑战性的拓扑结构上进行喷涂：AS8 手动喷涂机是研发和小批量生产直径达 200 毫米的基材和边长达 6 英寸的方形基材的理想解决方案。该系统结构紧凑，将智能易用性与 SUSS' 喷涂技术相结合，可实现均匀、可重现的涂层。

咨询专家
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在任何地形上都能实现一致、可靠的喷涂

AS8 甚至可以在要求最苛刻的 3D 结构上提供均匀、保形的光刻胶沉积。无缝集成可编程的旋涂和清洗参数，简化复杂的涂层并提高良率--所有这一切都占地面积小，专为研发和小批量生产而设计。

复杂形状的完美涂层

在最具挑战性的表面结构上可靠地图案化：AS8 的精密喷涂技术可以克服极端的地形，在复杂的基底上形成均匀的图案层。

无与伦比的涂层均匀性

敷形涂覆可实现精确的边缘涂覆，避免光刻胶在沟槽中积聚，确保整个基底上的线条整洁，微观结构得到一致的保护。

专有喷雾设计

工艺稳定性和可重复性得益于 SUSS' 独有的喷雾设计，可实现批次间一致、可靠的结果，是要求苛刻的研究和试生产的理想之选。

AS8 手动喷涂机的主要特点

完全可配置的涂层性能

AS8 专为基底层面的灵活性和精确性而设计，尤其适用于研究和试生产。先进的光刻胶供应系统和可编程配方实现了对所有常见晶圆和基底格式的量身定制的工艺控制以及未来的无缝扩展。

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基底柔韧性

对于最大 6 英寸的圆形和方形基板，可立即适应不断变化的要求：对于 Ø150 毫米和 Ø200 毫米基板，可选择双喷嘴模式；对于 Ø3''、Ø100 毫米、Ø150 毫米和 Ø200 毫米基板，可选择单喷嘴模式。

配备先进喷嘴的高精度 X/Y 平台

Z 轴调整精度高达 45 毫米，喷嘴调整范围从 67.5 毫米到 107.5 毫米，可实现量身定制的工艺几何形状。AS8 的旋涂轴速度最高可达 500 mm/s，加速度最高可达 9 m/s²，可提供精确的喷涂和再现性。双喷嘴和独立的溶剂喷嘴可实现精确、灵活的清洗和快速的配方执行。

卡盘转速高达 1,000 rpm

为了实现最佳光刻胶分布和无缝加工，AS8 采用了经过优化的卡盘和工艺槽，最高转速可达 1,000 rpm。加热卡盘选项和先进的防溅环设计最大程度地减少了污染，支持平稳操作。

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