鍍膜解決方案

AS8 手動高形貌噴塗機

在具有挑戰性的拓樸面上進行圖案製作：AS8 手動噴塗機是研發和小量生產的理想解決方案，適用於直徑達 200 mm 的基板和邊長達 6" 的方形基板。此緊湊型系統結合了智慧型可用性與 SUSS' 塗佈技術，可提供均勻、可重複的塗層。

與專家交流
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一致、可靠的塗層 - 適用於任何地形

即使是要求最嚴苛的 3D 結構，AS8 也能提供均勻、保形的光刻膠鍍膜。無縫整合可編程的旋塗與清洗參數，簡化複雜的塗層並提昇良率 - 所有這一切都在專為研發與小量生產而設計的精巧佔地面積內實現。

複雜形狀的完美塗層

在最具挑戰性的表面結構上可靠地形成圖案：AS8 的精密噴塗技術克服了極端形狀，可在複雜的基材上形成均勻的圖層。

無與倫比的塗層均勻性

提供具有精確邊緣涂覆的光刻膠塗覆，可避免光刻膠積聚在溝槽中，確保整個基材的線條乾淨，並提供一致的微觀結構保護。

專屬噴霧設計

得益於 SUSS' 獨家的噴霧設計所提供的製程穩定性和可重複性，可一次又一次地獲得一致、可靠的結果 - 是高要求研究和試產的理想選擇。

AS8 手動噴塗機的主要特色

完全可配置的塗層性能

AS8 針對基板層級的彈性與精準度而設計，特別適用於研究與試產。精密的光刻膠供應系統和可編程配方可針對所有常見的晶圓和基板格式實現量身定制的製程控制，並在未來實現無縫擴展。

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基板柔性

對於最大 6" 的圓板和方板，可立即適應不斷變化的需求：針對 Ø150 mm 和 Ø200 mm 基板，可選擇雙噴嘴模式；針對 Ø3''、Ø100 mm、Ø150 mm 和 Ø200 mm 基板，可選擇單噴嘴模式。

高精度 X/Y 平台配備先進的噴嘴

精確的 Z 軸調整範圍可達 45 mm，而噴嘴調整範圍可達 67.5 mm 至 107.5 mm，可針對製程幾何尺寸進行調整。AS8 的噴塗軸速度最高可達 500 mm/s，加速度最高可達 9 m/s²，可提供精確的噴塗與再現性。雙噴嘴和獨立的溶劑噴嘴可進行精確、靈活的清洗，並快速執行配方。

卡盤轉速高達 1,000 rpm

為了達到最佳光刻膠分佈與無縫加工，AS8 採用最佳化的卡盤與工藝槽，最高轉速可達 1,000 rpm。加熱卡盤選項和先進的防濺環設計，可將污染降至最低，並支援順暢的操作。

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