喷墨打印解决方案

精确、非接触式沉积,浪费最少:SUSS 喷墨打印解决方案可提供定制的晶片应用,最大限度地降低污染风险并提高效率。该系统可灵活应用于各种基底,并可从研发阶段扩展到全面生产阶段,从而实现可持续的、具有成本效益的工艺。

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复杂材料的高效印刷

从实验室规模的实验到全面的晶圆生产,洁净、选择性沉积可减少误差并提高良率

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自动化

SUSS 喷墨打印解决方案

主要优势

微米级精度

将功能性材料准确地放置在需要的位置:SUSS 喷墨系统可提供高精度、非接触式沉积,适用于复杂的晶片设计和定制应用,最小可达 20 微米,从而减少缺陷、简化流程,并实现从研发到全面生产的可靠性能。

材料效率

大幅减少材料用量:SUSS 先进的喷墨打印功能取代了平版印刷、丝网印刷、喷涂和点胶等传统技术,因此无需使用掩膜和丝网。这就加快了产品切换速度,降低了成本,并支持更可持续的生产。

适用于任何应用的系统

从实验室试验到大规模生产,用途广泛:SUSS 喷墨打印系统平台可处理各种基板和材料。灵活的配置能够快速适应新的应用,实现最大吞吐量和工艺可靠性,并使未来的操作能够满足不断发展的技术需求。

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视觉控制的集成计量

视觉优化喷墨打印:集成的 DI300 模块可确保亚微米级精度,补偿承印物偏移,实现高吞吐量、智能化沉积,以达到最高良率和最低废品率。

实时视觉对准

在线基准标记检测可纠正偏移和翘曲,实现低于 2 微米的定位精度。
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良率聚焦沉积控制

动态修正可减少废品,支持定制图案,并保持高吞吐量生产。
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