Semi-Automated Mask and Bond Aligner
MEMS | Imprint | 3D
Semi-Automated/Automated Metrology System
Accurate Metrology | Optional IR Illumination
为了低成本地生产高性能、多功能微芯片，新型工艺技术成为生产规划中的首选。 通过仔细选择合适的方法，显着提升生产工艺的效率、提高产量并缩短生产总时间。 SUSS MicroTec 设备的出色之处在于高度的工艺灵活性。 它们支持多种工艺并且很容易地加装新装备。
SUSS MicroTec拥有70多年的历史，是半导体行业领先的微结构工艺设备提供商。产品涵盖后道光刻、晶圆键合、光掩模清洗和微光学器件等诸多解决方案。
