精密システム半導体リソグラフィ、ウェーハボンディング、フォトマスクプロセシング向け

フォトマスクプロセシングから高精度イメージング、コーティング、ボンディングシステムまでーー高い歩留まりと安定したスループットを実現する、効率的・安定的・コスト効果に優れたプロセスソリューションを開発しています。

高い柔軟性で高歩留まりを実現するコーティングソリューション。

均一なコーティング、安定したプロセス、柔軟な調整により、生産ワークフローを最適化し、総所有コストを最低限に抑えます。

塗布と現像

半導体製造向け産業用インクジェット印刷

精密なマスクアライメントを実現し、スループットを最適化することで、複雑な構造の露光を安定的かつ高歩留まりで安定して露光することができます。

マスクアライメント

UVスキャニング

SUSSのテンポラリー、パーマネント、ハイブリッドボンディングソリューションで高精度のボンディングプロセスを実現します。拡張可能なモジュール式プラットフォーム上に構築されたシステムは、お客様のニーズに適応し、最適なデバイス品質と最大の歩留まりを保証します。

テンポラリーボンディング

パーマネントボンディング

高精度なフォトマスクソリューションで、次世代リソグラフィをサポート。パーティクルフリーのクリーン環境と厳密なプロセス制御により、EUV・DUV層にわたるパターン精度と歩留まりを確保します。

ベークと現像

洗浄

当社は高性能な機器を提供するだけでなく、サービス、品質、企業責任に関する明確で透明性の高い情報も共有しています。
より深い洞察を得るために、以下の分野をご覧ください。

サービス内容

サービスの詳細

SUSSトレーニングセンター

新規のお客様にも、既存の知識を向上させたいとお考えの長年のパートナー様にも、生産効率を次のレベルに引き上げるための適切なプログラムをご用意しています。

品質マネジメント

信頼できる品質。すべてのシステムに組み込まれています。リソグラフィからボンディングまで、精密さと信頼性はオプションではありません。それが標準なのです。

一緒にイノベーションを成長させましょう！お客様のプロジェクトや課題についてお聞かせください。