フォトマスクプロセシングから高精度イメージング、コーティング、ボンディングシステムまでーー高い歩留まりと安定したスループットを実現する、効率的・安定的・コスト効果に優れたプロセスソリューションを開発しています。
均一なコーティング、安定したプロセス、柔軟な調整により、生産ワークフローを最適化し、総所有コストを最低限に抑えます。
塗布と現像
インクジェット印刷
精密なマスクアライメントを実現し、スループットを最適化することで、複雑な構造の露光を安定的かつ高歩留まりで安定して露光することができます。
マスクアライメント
UVスキャニング
SUSSのテンポラリー、パーマネント、ハイブリッドボンディングソリューションで高精度のボンディングプロセスを実現します。拡張可能なモジュール式プラットフォーム上に構築されたシステムは、お客様のニーズに適応し、最適なデバイス品質と最大の歩留まりを保証します。
テンポラリーボンディング
パーマネントボンディング
高精度なフォトマスクソリューションで、次世代リソグラフィをサポート。パーティクルフリーのクリーン環境と厳密なプロセス制御により、EUV・DUV層にわたるパターン精度と歩留まりを確保します。
ベークと現像
洗浄
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