HMxシリーズ
HMxシリーズは、フォトマスク、オプトエレクトロニクス、OLED、特殊半導体のバックエンドアプリケーション向けに、高品質なフットプリントと特殊洗浄機能を提供します。
コンパクトなクリーンルーム設計と卓越した柔軟性：HMxシリーズは、最先端の現像液、エッチング液、洗浄機能を幅広い基板ハンドリングと一体化させました。自動化されたプロセスステップによるマニュアルローディングが実証された信頼性を保証し、最新の制御装置と高度な洗浄技術が高感度基板の最大限の安全性を実現します。
オペレーターとプロセスの最大限の安全性：HMxシリーズは、安全な化学薬品保管庫、二重構造のディスペンシングシステム／人間工学に基づいたローディングエリアを一体化し、すべての工程で安全なハンドリングを実現します。
どんな環境にもフィット：ベースキャビネットのフットプリントはわずか960×1120mm、メディアキャビネットは300×1070mmと、HMxシリーズはコンパクトなデザインでパワフルなパフォーマンスを提供します。
半導体市場のニーズに対応
革新的なディスペンシング技術と洗浄技術により、HMxシリーズは欠陥のない安定した結果を提供します。モジュール設計により複数のプロセスオプションをサポートし、パイロットプロジェクトや小規模生産の両方で、多様なアプリケーションや厳しい均一性要件に合わせたカスタマイズが可能です。
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