デボンディングソリューション

DB12T デボンダー

DB12T デボンダーは、室温での機械式剥離デボンディングのための最先端ソリューションです。50µm以下の薄化ウェーハからサポートキャリアを分離します。使用可能な装置オプションは、4インチから12インチまでのウェーハサイズ、およびガラスやシリコンなどの様々なサポートキャリア材料に対応しています。

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お客様のメリット

DB12T デボンダーは、その先進プロセス制御機能により、パワーデバイス、2.5D インターポーザ、3D 統合デバイス、3D ウェーハレベルパッケージ MEMS、ファンアウトウェーハレベルパッケージなど、幅広い薄化ウェーハアプリケーションに最適です。

完璧な互換性

DB12Tは、機械的デボンディング用に特別に設計された幅広い接着剤や剥離層に対応しています。

高度なプロセス制御

デボンディング力、デボンディング速度、デボンディングイニシエーターブレードの挿入高さ：すべての主要なデボンディングパラメーターは、さまざまなウェーハサイズやトポグラフィーで最適なパフォーマンスを確保するために電子的に制御できます。

最短デボンディングフロント

DB12Tは、専用ローラーを使用してデボンディングウェーブフロントを高精度に制御し、可能な限り短いデボンディングフロントを実現するとともに、デバイスウェーハへのストレスを最小限に抑え、最大の歩留まりとデバイス品質を保証します。パラメータはゾーンごとにプログラムでき、プロセス全体の力分布を最適化します。

プログラマブルな精度

DB12T デボンダーの主な特長

DB12T は、関連するすべてのデボンディングパラメータを完全に制御し、デボンドフロントを最小化し、プロセスの信頼性を最大化します。

プログラム可能なデボンディングの開始

DB12Tはデボンディング開始位置の調整とプログラムが可能なので、例えば、デボンディングイニシエーターブレードの挿入高さをマイクロメーター精度で定義することができます。

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電子プロセス監視

すべてのデボンディングパラメーターは、プロセス全体を通して継続的にモニターされます。インターロック設定により、デボンディングフロントが伝播しない場合はプロセスが停止します。

その他の装置オプション

DB12Tデボンダーは、さまざまな追加装置オプションにより、容易に拡張することができます。これらのオプションは、4インチから12インチまでのウェーハサイズと、ガラスやシリコンを含むさまざまなサポートキャリアをサポートしています。

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