ユニバーサルボンディングソリューション

SB8 Gen2 ウェハボンダ

柔軟性、適応性、信頼性:SB8 Gen2は半自動ユニバーサルウェーハボンディングシステムで、最大200mmウェーハのハンドリングが可能で、様々な形状やサイズの基板に対応します。

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お客様のメリット

スケールアップが容易で、幅広いボンディング技術をサポートするSB8 Gen2は、さまざまなアプリケーションやプロセス環境向けに設計された柔軟なプラットフォームです。その応用分野には、MEMS、LED、先進パッケージング、2.5Dインテグレーション、3Dインテグレーションにおけるパッケージングや構造化プロセスが含まれます。

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容易な適応、迅速な拡張

SB8 Gen2は、研究開発からパイロット・ライン、そして本格的な生産へとシームレスに移行できるように設計されています。オープンまたはクローズなどのボンディング装置は迅速に変更でき、異なるウェーハサイズやボンディングプロセスに対して迅速な調整が可能です。

様々なボンディング技術に最適

プログラム可能な幅広いプロセスパラメーターにより、このプラットフォームは、陽極接合、陽極三層積層ボンディング、フュージョン接合、共晶接合、接着剤接合、拡散接合など、さまざまな接合技術に理想的な環境を提供します。

コンパクトフットプリント、ハイパフォーマンス

フットプリント0.6 m x 1.2 mのSB8 Gen2は、非常にスペース効率が高く、生産環境に無理なくフィットするように設計されています。

汎用ウェーハボンディングシステム

SB8 Gen2 ウェハボンダーの主な特長

調整可能な高性能ボンドチャンバーを装備したSB8 Gen2は、変化する加工装置に容易に適応します。温度制御、接合力/接着力、チャンバー圧力をフレキシブルに設定し、お客様の生産ニーズにお応えします。

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スペーサー個別作動(SSR)

SB8 Gen2はシーケンシャルスペーサーリムーバル(SSR)を可能にし、オペレータはボンドレシピから各スペーサーを完全に制御することができます。スペーサーはクランプ力/接着力がかからないように次々と除去されるため、ウェーハシフトを最小限に抑え、ボンド後のアライメント精度を高めることができます。

正確な温度制御

SB8 Gen2は、装置プレート表面で直接測定される30 °C ~ 500 °Cの幅広い温度制御範囲により、安定した高品質の結果を保証します。最大30 K / minのランピング速度が可能です。

均一接合力/接着力

SB8 Gen2は、300 N~20 kNの接合力/接着力を、高い再現性と最高の均一性で実現します。精密制御システムと空気圧式装置ピストンにより、あらゆる接合プロセスにおいて信頼性の高い結果が得られます。

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