フォトマスクベーク＆現像システム

マスクトラックスマートBD 自動フォトマスクシステム

業界最高水準の選択：マスクトラックスマートBDは、最先端技術、最大歩留まり、卓越した汎用性を兼ね備え、ベーク・現像セクター全体で世界最高水準の結果を提供します。

次世代リソグラフィのためのオールインワンソリューション

MaskTrack Smart BDは、最先端リソグラフィの新たなスタンダードを確立します。スマートな自動化、モジュール化された適応性、および卓越した性能により、業界標準に準拠した最大32 nm以下のウェハの最適な結果、高い汎用性、および信頼性の高い高歩留まり生産を1つのプラットフォームで実現します。

自動化された精度

自動化されたエッジをご体験ください：ドライフリップとローコンタクトハンドリングにより、正確で優しい搬送を実現します。複数のI/Oステーションが生産を合理化し、オンラインのウェブカメラモニタリングがリアルタイム制御を提供します。

究極のパフォーマンス

正確で安定した結果自動化されたアルゴリズムにより、フォトマスクの表面温度（90℃～130℃）を正確に制御し、目標のCDmeanを達成します。内蔵されたフィードバックループは、リアルタイムのCDデータを使用して均一性を継続的に改善し、信頼性の高い高品質なパフォーマンスを保証します。

最先端技術

優れた品質とマスク寿命：A+ノズルのローインパクトディスペンス技術により、高速かつ均一な表面ウェッティングおよびメディア交換を実現し、欠陥の発生を最小限に抑え、基板全体のCD均一性を向上させます。

業界に準拠した製造

シームレスな統合のために設計された当社のシステムは、厳しい業界基準を満たしています。SEMI S2、S8、S13に準拠し、CEマークを取得し、DIN EN ISO 14644 Class 2制御環境用に構築されています。標準的なSECS/GEM 200/300 mmインターフェースで、すぐに工場の自動化に対応できます。

洗練された製造

MaskTrack Smart BD フォトマスクシステムの主な特長

マスクの保管、ハンドリング、加工：マスクトラックスマートBDは、最も複雑なフォトマスクの製造を、完全に制御された非常にクリーンな環境下で、高い製品インテグリティを保ったまま工業規模で行うことを可能にします。

25ゾーンホットプレートシステム

インテリジェントホットプレートシステムは、平均温度上昇中および目標温度でのフォトマスク表面の精密な温度均一性を可能にし、最適なポストエクスポージャーベークと高品質な結果を保証します。

ASONICテクノロジー

優れた現像液のためのアコースティックストリーミング：メガソニックエネルギーを使用して表面を励起することにより、ASONIC^-Technology®は現像液の交換を増加させ、均一な使用とCDの均一性を向上させます。

DIN EN ISO 14.644 規格

クラス2認定環境での生産：特殊な物理的および湿式化学的洗浄方法により、パーティクルやコンタミネーションを効果的に除去し、DIN EN ISO 14.644に準拠した超清浄条件を提供します。インテリジェントなプロセスにより、90nmの後方互換性を持つ1x nmハーフピッチまでのフォトマスクの完全性を保証します。