光掩膜烘烤和显影系统
MaskTrack Smart BD 自动化光掩膜系统
业界的最佳选择：MaskTrack Smart BD 结合了尖端技术、最大良率和卓越的多功能性，可在整个烘烤与显影区提供世界一流的效果。
HMx 系列
半自动化解决方案，适用于光罩和高难度半导体应用的中试和小批量生产。
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下一代光刻的一体化解决方案
MaskTrack Smart BD 树立了尖端光刻技术的新标准。智能自动化、模块化适应性和出色的性能确保在单一平台上实现符合行业标准的最佳结果、高通用性和可靠的高良率生产，最高可达 32 纳米以下晶圆。
终极性能
精确一致的结果：自动算法可精确控制光掩膜表面温度（90°C - 130°C），以满足您的精确目标 CD Mean。内置反馈回路利用实时 CD 数据不断改进均匀性，确保可靠的高质量性能。
精密制造
MaskTrack Smart BD 光掩膜系统的主要特点
掩膜存储、处理或加工：MaskTrack Smart BD 可确保在完全受控和极其洁净的环境中，以工业规模生产最复杂的光掩膜，并保证产品的高完整性。
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