포토마스크 베이킹 및 현상액 시스템

MaskTrack Smart BD 자동화 포토마스크 시스템

업계의 프리미엄 선택: 최첨단 기술, 최대 수율, 탁월한 다용도성을 결합한 MaskTrack Smart BD는 베이크 및 현상 섹터 전체에 걸쳐 세계 최고 수준의 결과를 제공합니다.

차세대 리소그래피를 위한 올인원 솔루션

마스크트랙 스마트 BD는 최첨단 리소그래피의 새로운 기준을 제시합니다. 스마트 자동화, 모듈식 조정 및 뛰어난 성능은 단일 플랫폼에서 업계 표준에 따라 최대 32nm 미만의 웨이퍼를 최적의 결과, 높은 다양성 및 안정적인 고수율로 생산할 수 있도록 보장합니다.

자동화된 정밀도

필요한 자동화된 엣지를 경험하세요: 건식 플립과 저접촉 핸들링으로 정밀하고 부드러운 이송을 보장합니다. 다중 입출력 스테이션은 생산을 간소화하고 온라인 웹캠 모니터링은 실시간 제어를 제공합니다.

궁극의 성능

정확하고 일관된 결과: 자동화된 알고리즘이 포토마스크 표면 온도(90°C~130°C)를 정밀하게 제어하여 정확한 목표 CDmean을 충족합니다. 내장된 피드백 루프는 실시간 CD 데이터를 사용하여 균일성을 지속적으로 개선하여 신뢰할 수 있는 고품질 성능을 보장합니다.

최첨단 기술

우수한 품질과 마스크 수명: 빠르고 균일한 표면 습윤 및 미디어 교환을 위한 A+노즐 저충격 디스펜싱 기술은 전체 기판에서 결함을 최소화하고 CD 균일성을 개선합니다.

산업 규정 준수 제조

원활한 통합을 위해 설계된 저희 시스템은 엄격한 산업 표준을 충족합니다. SEMI S2, S8 및 S13을 준수하고 CE 마크를 획득했으며 DIN EN ISO 14644 클래스 2 제어 환경을 위해 제작되었습니다. 표준 SECS/GEM 200/300mm 인터페이스를 통해 공장 자동화에 즉시 사용할 수 있습니다.

정교한 제조

MaskTrack Smart BD 포토마스크 시스템의 주요 특징

마스크 보관, 핸들링 또는 처리: MaskTrack Smart BD는 완벽하게 제어되고 매우 청결한 환경 내에서 산업 규모에서 높은 제품 무결성으로 가장 복잡한 포토마스크 제조를 보장합니다.

25존 핫플레이트 시스템

지능형 핫플레이트 시스템은 평균 온도 상승 시와 목표 온도에서 포토마스크 표면의 온도를 정밀하게 균일하게 유지하여 최적의 포스트 노출 베이크와 고품질 결과물을 보장합니다.

ASONIC 기술®

탁월한 현상액을 위한 어쿠스틱 스트리밍: 메가소닉 에너지를 사용하여 표면을 여기시키는 ^{ASONIC-Technology®는} 현상액 미디어 교환을 증가시켜 균일한 사용률과 향상된 CD 균일성을 제공합니다.

DIN EN ISO 14.644 표준

클래스 2 인증 환경에서 생산: 특수 물리적 및 습식 화학적 세척 방법으로 입자와 오염을 효과적으로 제거하여 DIN EN ISO 14.644에 따라 매우 깨끗한 상태를 제공합니다. 지능형 공정은 90nm 역호환성을 통해 1xnm 하프 피치까지 포토마스크 무결성을 보장합니다.