XBC300 Gen2 デボンディング クリーナー

DB300Tモジュールは、幅広い接着剤層とプロセス固有の剥離層を使用して、制御された機械式剥離デボンディングを可能にします。デボンディングフロントを正確にガイドすることで、分離プロセス全体を通してデバイスウェーハへの機械的ストレスを最小限に抑えます。ガラスとシリコンの両方のキャリアに対応するこの方法は、多様な材料スタックに柔軟で信頼性の高い性能を提供します。

LD300は、界面の接着剤接合を選択的に切断する308nmエキシマレーザーパルスを使用し、実質的に接合力／接着力不要のキャリア除去を実現します。ガラスやサファイアのような透明キャリアに最適なこのUVベースのプロセスは、正確でクリーンな分離を保証しながら、機械的ストレスを排除します。

AR300TFモジュールは、テープ実装薄化ウェーハの効率的なウェットケミカル洗浄用に設計されています。ウェハーとテープの最大限の保護を確保しながら、効果的に接着剤を除去し、剥離層を残します。 洗浄とリンス用に分離されたディスペンスアームにより、柔軟なプロセス制御が可能で、パドル、スプレー、高圧を含む複数のディスペンスモードがあり、統合されたN₂乾燥によりサポートされます。

AR300モジュールは、水溜り、スプレー、または高圧アプリケーションモードを選択することで、全厚のウェーハとサポートキャリアを徹底的に洗浄することができます。裏面洗浄機能を搭載しており、すべての表面から汚染物質を完全に除去することができます。AR300TFと同様、ディスペンスアーム／ディスペンサーアームが分離されており、様々な薬液オプションをご用意しています。