通用邦定解決方案
靈活、適應性強、可靠:SB8 Gen2 是半自動化的通用晶圓鍵合系統,能夠處理最大 200 mm 的晶圓,並支援各種形狀和尺寸的基板。
SB8 Gen2 易於擴充並可支援多種接合技術,是專為各種應用和製程環境而設計的靈活平台。其應用領域包括封裝以及 MEMS、LED、先進封裝、2.5D 整合和 3D 整合的結構化製程。
SB8 Gen2 旨在實現從研發到試產線再到全面生產的無縫過渡。鍵合設備 - 例如開放式或封閉式 - 可以快速更換,以便針對不同的晶圓尺寸和鍵合製程進行快速調整。
憑藉其範圍廣泛的可編程製程參數,該平台為各種接合技術提供了理想的環境 - 包括陽極鍵合和陽極三層堆疊鍵合、熔融鍵合、共晶鍵合、粘合劑鍵合和擴散器鍵合。
SB8 Gen2 佔地面積只有 0.6 m x 1.2 m,非常節省空間,可輕鬆融入您的生產環境。
您的通用晶圓接合系統
SB8 Gen2 配備可調整的高效能邦定腔體設備,可輕鬆適應不斷變化的加工需求。溫度控制、键合力/粘合力和腔体压力可以灵活设置,以满足您特定的生产需求。
SB8 Gen2 可啟用順序間隔物移除 (SSR),讓操作人員透過鍵合配方完全控制每個間隔物。間隔物一個接一個地移除,確保不會施加任何夾具力 - 儘量減少晶圓移位,並實現對準鍵合後的對準器。
SB8 Gen2 具有寬廣的溫度控制範圍,從 30 °C 到 500 °C,直接在基板表面測量 - 可確保一致、高品質的結果。斜坡速度最高可達 30 K / min。
SB8 Gen2 鍵合力/粘合力範圍從 300 N 到 20 kN,具有高重複性和最佳均勻性。其精密控制系統和氣動設備活塞可確保所有接合製程都能達到可靠的結果。
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