以混合式製程實現永續晶圓清洗

GT200

GT200是一款專為晶圓清洗與剝除製程打造的環保製造解決方案。從光阻去除、表面活化到高品質最終清洗，GreenTec Solutions將互補的製程能力整合於一個可設定的平台。透過整合這些能力，GT200有助於減少設備分散、簡化製程流程，並為高效且可靠的生產建立更一致的基礎。

與專家洽談
Totale_Machine_GreenTrack200 LVM

以經實證的光罩製程專業為基礎打造的專用晶圓清洗平台

結合更環保的製程介質與SUSS混合式剝除技術，無需使用危險物質。

降低EHS暴露風險

GT200透過採用更環保的製程介質與替代剝除方式，減少危險物質的使用。在維持可靠清洗效能的同時，這有助於降低EHS暴露風險、簡化廢棄物處理，並支持企業內部的永續發展目標

GT200 LVM - TurbulenStrip
降低製程複雜度

GT200將多個清洗與剝除步驟整合於一個彈性的設備概念中，減少晶圓搬運次數與設備組合的複雜度。這有助於打造更穩定的製程流程、減少介面，並提升整條產線的營運效率。

 

加快學習週期

GT200專為小量生產而設計，可支援受控實驗、製程調校與配方開發。結合SUSS的製程專業知識，客戶可縮短導入時間，更快從評估階段邁向穩定生產。

降低總持有成本

SUSS GT200透過降低化學品用量、減少危險廢棄物，並簡化安全與廢氣處理要求，協助降低總持有成本（TCO）。有效運用製程介質並採用模組化製程整合，有助於晶圓廠更有效地管理資源。

可擴展的製程轉移

模組化平台概念與共同評估方式，有助於將試產線與認證階段累積的製程知識轉移至大量生產。這讓客戶能及早建立信心，並依循一致的製程策略擴大規模。

永續清洗效能的標竿

GT200的主要特色

先進的環保清洗與剝除技術，旨在降低化學品影響、改善製程控制，並支援可靠的製造。

TurbulenStrip技術

TurbulenStrip採用動態單片濕式製程，結合浸泡槽剝除與專用Green Fluids。局部湍流會在基板表面產生強大作用力，有助於有效清除光阻、聚合物、灰化殘留物與蝕刻後殘留物，同時降低交叉污染；相較於DMSO，使用量與廢棄處理量皆可減半。

CrustBuster採用SUSS專利原位UV技術，直接在基板表面分解有機物。

此混合式方法可大幅減少剝除製程的化學品用量，並支援敏感結構的溫和處理及永續製造目標。

Spin Rinse Dry高效最終清洗效能

GT200 支援最大 200 mm 晶圓，每小時最多可處理 45 片。對於尺寸 >100 nm 的粒子，其去除效率達 99 %。憑藉精巧的占地面積與模組化配置，GT200 適用於受控的製程學習、製程認證及少量生產。

Downloads

想進一步了解嗎？請點選下方連結，下載技術資料表與包含深入產品資訊的產品簡報。

Product Overview Brochure EN
PDF
Technical Datasheet - GT200
PDF

相關 產品

探索我們的光罩解決方案產品組合

MaskTrack Pro 系列

世界級光掩模清洗、烘烤與顯影的旗艦平台，適用於先進的工業光刻應用。
了解更多
自動化

HMx 系列

半自動化解決方案，適用於光罩與高難度半導體應用的試產與小量生產。
了解更多
HMx_series-1600x1200.png
半自動

ASx 系列

全自動光掩模加工平台，可在 250-65 奈米晶圓上進行先進的烘烤、光刻胶剥离、清洗、烘烤與顯影。
了解更多
APB9500-1600x1200.png
自動化

Stay in the know: What’s new at SUSS

Press releases, Investor Relations news, and more: Explore our latest publications and discover what’s happening at SUSS. 

01/10/2026
SUSS enters Wafer-Cleaning Market with launch of GreenTec Solutions Product Line and first GT200 System
Corporate News
03/09/2026
SUSS and Manz Asia Announce Strategic Collaboration in Semiconductor Inkjet Technology
Corporate News
SUSS_Manz_Asia.jpg
06/08/2026
Order book reaches record of €473.7 million, providing strong visibility for 2027
Corporate News
29/07/2026
SUSS invests in Advanced Packaging Innovation Center to support further growth
Corporate News
suss_advanced_packaging_innovation_center.jpg