하이브리드 접근 방식으로 구현하는 지속 가능한 웨이퍼 세정

GT200

GT200은 웨이퍼 세정 및 박리 공정에 특화된 친환경 제조 솔루션입니다. 포토레지스트 제거와 표면 활성화부터 고품질 최종 세정까지, GreenTec Solutions는 상호 보완적인 공정 기능을 하나의 구성 가능한 플랫폼에 통합합니다.이러한 기능을 통합함으로써 GT200은 장비 분산을 줄이고 공정 흐름을 단순화하며, 효율적이고 안정적인 생산을 위한 일관된 기반을 마련하는 데 기여합니다.

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검증된 포토마스크 공정 전문성을 바탕으로 구축한 전용 웨이퍼 세정 플랫폼

친환경 공정 매체와 SUSS 하이브리드 박리 방식을 결합해 위험 물질 사용을 없앨 수 있습니다.

EHS 유해 요인 노출 감소

GT200은 친환경 공정 매체와 대체 박리 방식을 적용해 위험 물질 사용량을 줄입니다.이를 통해 안정적인 세정 성능을 유지하면서 EHS 유해 요인 노출을 낮추고, 폐기물 처리를 간소화하며, 사내 지속 가능성 목표를 지원합니다

공정 복잡성 감소

GT200은 여러 세정 및 박리 단계를 하나의 유연한 장비 개념으로 통합해 웨이퍼 이송과 장비 구성의 복잡성을 줄입니다.이를 통해 공정 흐름을 안정화하고 인터페이스를 줄이며 생산 라인 전반의 운영 효율을 높일 수 있습니다.

학습 주기 단축

소량 생산을 위해 설계된 GT200은 제어된 실험, 공정 조정, 레시피 개발을 지원합니다. SUSS의 공정 전문성과 함께 고객은 도입 기간을 단축하고 평가 단계에서 안정적인 생산으로 더 빠르게 전환할 수 있습니다

총소유비용 절감

SUSS GT200은 화학물질 사용량과 유해 폐기물을 줄이고 안전 및 배기가스 처리 요건을 간소화해 총소유비용(TCO) 절감을 지원합니다. 공정 매체를 효율적으로 사용하고 공정을 모듈형으로 통합하면 팹에서 자원을 더욱 효과적으로 관리할 수 있습니다.

확장 가능한 공정 이전

모듈형 플랫폼 개념과 공동 평가 방식을 통해 파일럿 라인 및 인증 단계의 공정 노하우를 대량 생산으로 이전할 수 있습니다.이를 통해 고객은 초기에 신뢰를 쌓고 일관된 공정 전략에 따라 생산 규모를 확장할 수 있습니다.

지속 가능한 세정 성능의 기준

GT200의 주요 특징

화학물질 영향을 줄이고 공정 제어를 개선하며 안정적인 제조를 지원하도록 설계된 첨단 친환경 세정 및 박리 기술입니다.

TurbulenStrip 기술

TurbulenStrip은 침지조에서의 박리 공정과 전용 Green Fluids를 결합한 동적 단일 웨이퍼 습식 공정을 사용합니다.국부 난류 흐름은 기판 표면에 강한 힘을 가해 레지스트, 폴리머, 디스컴 및 식각 후 세정을 효율적으로 지원하면서 교차 오염을 줄입니다. 또한 DMSO 대비 사용량과 폐기량을 절반으로 줄일 수 있습니다.