光罩烘烤與顯影液系統
MaskTrack Smart BD 自動化光罩系統
業界的優質選擇：MaskTrack Smart BD 結合了尖端技術、最高良率和卓越的多功能性，在整個烘烤與顯影區提供世界級的效果。
HMx 系列
半自動化解決方案，適用於光罩與高難度半導體應用的試產與小量生產。
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下一代光刻的多合一解決方案
MaskTrack Smart BD 設定了尖端光刻技術的新標準。智慧型自動化、模組化適應和傑出的效能，可確保在單一平台上，依據業界標準達到最佳結果、高通用性和可靠的高良率生產，最高可生產 32 奈米以下的晶圓。
終極效能
準確一致的結果：自動化演算法可精確控制光罩表面溫度 (90°C - 130°C)，以符合您精確的目標 CDmean。內建的回饋迴圈使用即時 CD 資料持續改善均一性，確保可靠的高品質效能。
精密製造
MaskTrack Smart BD 光罩系統的主要功能
光罩儲存、處理或加工：MaskTrack Smart BD 可確保在完全受控且極為潔淨的環境中，以工業規模進行最複雜的光罩製造，並提供高產品完整性。
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