通用键合解决方案

SB8 Gen2 晶圆键合机

灵活、适应性强、可靠:SB8 Gen2 是一种半自动化通用晶圆键合系统,能够处理最大 200 毫米的晶圆,支持各种形状和尺寸的基板。

SB8_Gen2-1600x1200.png

您的优势

SB8 Gen2 易于扩展,支持多种键合技术,是专为各种应用和工艺环境而设计的灵活平台。其应用领域包括 MEMS、LED、先进封装、2.5D 集成和 3D 集成中的封装和结构化工艺。

SB6_8Gen2_7696.jpg
易于调整,快速扩展

SB8 Gen2 专为实现从研发到中试生产线再到大规模生产的无缝过渡而设计。粘合设备(如开放式或封闭式)可以快速更换,从而能够针对不同的晶片尺寸和粘合工艺进行快速调整。

适用于各种粘接技术

该平台具有广泛的可编程工艺参数,为各种键合技术提供了理想的环境,包括阳极键合和阳极三层堆叠键合、熔融键合、共晶键合、粘合剂键合和扩散器键合。

占地面积小,性能高

SB8 Gen2 占地面积仅为 0.6 米 x 1.2 米,非常节省空间,可轻松融入您的生产环境。

您的通用晶圆键合系统

SB8 Gen2 晶圆键合机的主要特点

SB8 Gen2 配备可调节的高性能键合室,可轻松适应不断变化的加工要求。可灵活设置温度控制、键合力/粘合力和腔体压力,以满足您的特定生产需求。

DSC001~1.JPG
DSC09082.jpg
独立间隔物驱动(SSR)

SB8 Gen2 实现了间隔物顺序移除 (SSR),使操作员能够通过键合配方完全控制每个间隔物。间隔物一个接一个地移除,确保不施加夹具力,从而最大限度地减少晶圆偏移,实现键合后的对准。

精确的温度控制

SB8 Gen2 可直接在设备基板表面测量 30 °C 至 500 °C 的宽温度控制范围,确保获得稳定、高质量的结果。升温速度可达 30 K/分钟。

均匀键合力/粘合力

SB8 Gen2 的键合力从 300 N 到 20 kN 不等,具有高重复性和最佳均匀性。其精密控制系统和气动设备活塞可确保在所有粘接过程中都能获得可靠的结果。

下载

想了解更多详情?请点击下面的链接下载技术数据表和产品介绍,了解更多产品信息。

相关 产品

了解我们的永久粘接解决方案组合

XB8

通用、半自动化高力晶圆键合机,支持晶圆尺寸达 200 毫米的基板。
了解更多
XB8-1600x1200.png
半自动

XBC300 Gen2 D2W

XBC300 Gen2 D2W 是在 200mm 和 300mm 基底面上进行序列式晶粒到晶片混合键合的全自动解决方案。
了解更多
XBC300 Gen2 D2W hybrid bonding platform by SUSS
自动化