全自动掩模对准机
MA300 Gen3 掩模对准机
MA300 Gen3 是 SUSS 用于 200 mm 和 300 mm 晶圆的旗舰掩模对准机。它专为先进封装而设计，将亚微米对准与灵活的顶部、底部和红外对准选项相结合。从 TSV 到 RDL 和凸点工艺，它都能提供高精度和吞吐量，处理超出步进能力的厚光刻胶应用。
MA200 Gen3
MA200 Gen3 掩模对准机是专为大批量生产而设计的，适用于最大 200 毫米晶圆的自动加工。
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